Vetek 반도체 SIC 코팅 흑연 배럴 감수자는 특히 LPE 반응기에서 반도체 에피 택시 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급 솔루션입니다. 이 고도로 효율적인 웨이퍼 트레이는 반도체 재료의 성장을 최적화하도록 설계되어 까다로운 제조 환경에서 탁월한 성능과 신뢰성을 보장합니다.
Veteksemi의 흑연 배럴 감수자 제품은 다음과 같은 뛰어난 장점이 있습니다.
고온 및 화학 저항 : 고온 응용의 엄격함을 견딜 수 있도록 제조 된 SIC 코팅 배럴 감수기는 열 응력 및 화학적 부식에 대한 현저한 저항성을 나타냅니다. 그것의 SIC 코팅은 흑연 기질을 산화 및 가혹한 가공 환경에서 발생할 수있는 다른 화학 반응으로부터 보호한다. 이 내구성은 제품의 수명을 연장 할뿐만 아니라 교체 빈도를 줄여 운영 비용이 낮아지고 생산성 향상에 기여합니다.
탁월한 열전도율 : SIC 코팅 흑연 배럴 감수자의 눈에 띄는 특징 중 하나는 우수한 열전도율입니다. 이 특성은 웨이퍼 전체에 걸쳐 균일 한 온도 분포를 허용하며, 고품질 에피 택셜 층을 달성하는 데 필수적입니다. 효율적인 열전달은 열 구배를 최소화하여 반도체 구조의 결함을 유발하여 에피 택시 공정의 전체 수율 및 성능을 향상시킬 수 있습니다.
고순도 표면 : High-PuCVD SIC 코팅 배럴 감수자의 Rity 표면은 처리되는 반도체 재료의 무결성을 유지하는 데 중요합니다. 오염 물질은 반도체의 전기적 특성에 악영향을 줄 수있어 기질의 순도가 성공적인 에피 택시에서 중요한 요소가 될 수 있습니다. 정제 된 제조 공정을 통해 SIC 코팅 표면은 최소한의 오염을 보장하여 더 나은 품질의 결정 성장과 전반적인 장치 성능을 촉진합니다.
반도체 에피 택시 프로세스의 응용
SIC 코팅 된 흑연 배럴 감수체의 1 차 적용은 LPE 반응기 내에 있으며, 여기서 고품질 반도체 층의 성장에 중추적 인 역할을한다. 최적의 열 분포를 촉진하면서 극한 조건에서 안정성을 유지하는 능력은 고급 반도체 장치에 중점을 둔 제조업체의 필수 구성 요소입니다. 이 감수자를 활용함으로써 회사는 고급 반도체 재료 생산에서 성능이 향상되어 최첨단 기술 개발을위한 길을 열어 줄 수 있습니다.
Veteksemi는 오랫동안 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다. Vetek Semiconductor의 SiC 코팅 된 흑연 배럴 감수기는 특정 응용 프로그램 및 요구 사항에 맞게 맞춤화 된 맞춤형 옵션을 제공합니다. Vetek Semiconductor는 치수를 수정하거나 특정 열 특성 향상 또는 특수 프로세스에 고유 한 기능을 추가하든 고객 요구를 충족시키는 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.
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