그래파이트 디스크 리시버

Vetek Semiconductor의 흑연 디스크 서셉터는 고급 반도체 제조 공정을 위한 고성능 제품입니다. 당사의 흑연 디스크 서셉터는 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하고 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 흑연 디스크 서셉터는 AIX G5 유성 반응기 플랫폼용 OEM입니다.

GAN-ON-SI MOCVD는 LED 에피 택셜 생산에 사용되며 Aixtron G5 반응기는 MOCVD 플랫폼의 수율 및 균일 성을 향상시킵니다. 표준 두께 실리콘 기판을 사용하고 웨이퍼 굽힘 동작을 제어하는 ​​5 개의 200mm 웨이퍼에서 완전히 회전 된 대칭 균일 패턴은 실리콘 제조에 필요한 것을 공식화했습니다.

Vetek Semiconductor의 GaN-on-Si MOCVD용 고순도 흑연 디스크 서셉터는 고급 반도체 제조 공정을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.

당사의 고순도 흑연 디스크 서셉터는 GaN-on-Si MOCVD 공정의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 탁월한 열 안정성과 내열성을 통해 일반적으로 800°C ~ 1100°C 범위의 까다로운 온도 조건을 견딜 수 있어 증착 공정 중에 최적의 성능을 보장합니다.

디스크 감수자에 사용되는 고급 흑연 재료는 우수한 화학적 저항성을 제공하여 암모니아 (NH3) 및 GAN-ON-SI MOCVD에 일반적으로 사용되는 유기 금속 전구체와 호환됩니다. 이렇게하면 추가가 필요하지 않습니다sic 코팅성능을 손상시키지 않고 생산 비용을 줄입니다.

Vetek Semiconductor의 High-Purity Graphite 디스크 감수자는 품질을 손상시키지 않고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. GAN-ON-SI MOCVD 프로세스와의 신뢰성, 내구성 및 호환성은 반도체 제조업체에 선호되는 선택입니다. Vetek 반도체는 GAN-ON-SI MOCVD 제조 요구에 고성능 흑연 디스크 감수기를 제공합니다.