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웨이퍼 캐리어 트레이
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웨이퍼 캐리어 트레이

Vetek Semiconductor는 고객과 파트너 관계를 맺고 웨이퍼 캐리어 트레이를위한 맞춤형 설계를 제작하는 데 전문적입니다. 웨이퍼 캐리어 트레이는 CVD 실리콘 에피 택시, III-V 에피 택시 및 III- 질화물 에피 택시, 실리콘 카바이드 에피 택시에 사용하도록 설계 될 수있다. 감수자 요구 사항에 대해서는 Vetek 반도체에 문의하십시오.

공장에서 웨이퍼 캐리어 트레이를 구입하도록 안심할 수 있습니다.

Vetek Semiconductor는 주로 3세대 반도체 SiC-CVD 장비용 웨이퍼 캐리어 트레이와 같은 CVD SiC 코팅 흑연 부품을 제공하며 업계에 첨단적이고 경쟁력 있는 생산 장비를 제공하는 데 전념하고 있습니다. SiC-CVD 장비는 탄화규소 기판 위에 균질한 단결정 박막 에피택시층을 성장시키는 데 사용되며, SiC 에피택셜 시트는 주로 쇼트키 다이오드, IGBT, MOSFET 및 기타 전자소자와 같은 전력소자 제조에 사용됩니다.

장비는 공정과 장비를 밀접하게 결합합니다. SIC-CVD 장비는 높은 생산 능력, 6/8 인치 호환성, 경쟁 비용, 여러 용광로의 지속적인 자동 성장 제어, 낮은 결함 속도, 유지 보수 편의성 및 온도 필드 제어 제어의 설계를 통해 명백한 이점이 있습니다. Vetek 반도체가 제공하는 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어 트레이와 결합하여 장비의 생산 효율을 향상시키고 수명을 연장하며 비용을 통제 할 수 있습니다.

Vetek 반도체의 웨이퍼 캐리어 트레이는 주로 고순도, 우수한 흑연 안정성, 높은 가공 정밀도, CVD SIC 코팅, 고온 안정성을 가지고 있습니다. 실리콘-탄화물 코팅은 고온 안정성이 뛰어나고 매우 고온 환경에서 열과 화학적 부식으로부터 기질을 보호합니다. .

경도 및 내마모성 : 실리콘-탄화물 코팅은 일반적으로 경도가 높기 때문에 내마모성이 뛰어나고 기질의 서비스 수명을 확장합니다.

부식 저항성 : 실리콘 카바이드 코팅은 많은 화학 물질에 내식성이 있으며 기질을 부식 손상으로부터 보호 할 수 있습니다.

마찰 계수 감소: 탄화규소 코팅은 일반적으로 마찰 계수가 낮아 마찰 손실을 줄이고 부품의 작업 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

열전도율 : 실리콘 카바이드 코팅은 일반적으로 우수한 열전도율을 가지므로 기판이 더 나은 열을 분산시키고 성분의 열 소산 효과를 향상시키는 데 도움이됩니다.

일반적으로 CVD 실리콘 카바이드 코팅은 기판에 대한 다중 보호 기능을 제공하고 서비스 수명을 연장하며 성능을 향상시킬 수 있습니다.


CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성
재산 전형적인 가치
결정 구조 FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도 3.21g/cm³
경도 2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기 2~10μm
화학적 순도 99.99995%
열용량 640J·kg-1·케이-1
승화 온도 2700 ℃
굽힘 강도 415MPa RT 4점
영률 430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율 300W · m-1·케이-1
열 팽창 (CTE) 4.5 × 10-6K-1


생산 상점 :

VeTek Semiconductor Production Shop


반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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