VEECO MOCVD용 웨이퍼 캐리어(LED 에피택시)

제품 특징:

1. 치밀한 CVD SiC 층을 갖춘 고순도 흑연 베이스
2. 안정적인 LED 에피택시를 위한 우수한 열 균일성
3. 공정에 사용되는 NH₃, HCl 및 기타 부식성 가스를 견뎌냅니다.
4. 낮은 입자 배출 및 긴 서비스 수명
5. 다양한 웨이퍼 크기와 반응기 플랫폼에 맞게 포켓 디자인을 맞춤 설정할 수 있습니다.
6. 장기간의 고온 MOCVD 작업에 적합

신청:
이러한 웨이퍼 캐리어는 다음을 포함하여 LED 및 화합물 반도체 에피택시에 널리 사용됩니다.

• GaN LED 에피택시
• 청록색 LED 에피택시
• 심자외선 LED 성장
• Si 기반 GaN 에피택시
• 일반 화합물 반도체 제조

맞춤형 캐리어 솔루션은 다음과 같은 여러 LED MOCVD 플랫폼에 적합합니다.

• VEECO K465i
• 비코 K700
• 비코 K868
• 엑스트론 G4/G5
• A7/유니맥스

기술적인 이점:

1. CVD SiC 코팅좋은 밀도와 순도를 제공하는 기술
2. 코팅 두께 변화가 ±10μm 이내로 유지되어 열 성능을 안정적으로 유지하는 데 도움이 됩니다.
3. 우수한 웨이퍼 핏과 회전 안정성을 위해 3μm 정밀도까지 CNC 가공
4. 코팅이 잘 달라붙고 반복적인 고온 MOCVD 사이클 후에도 균열이 발생하지 않습니다.
5. NH₃, HCl 및 기타 열악한 에피택시 환경을 문제 없이 처리합니다.
6. 낮은 파티클 발생과 깨끗한 표면으로 높은 수율 지원LED 에피택시
7. 다양한 반응기 플랫폼 및 웨이퍼 레이아웃에 맞게 대형 또는 맞춤형 크기를 코팅할 수 있습니다.
8. 오랜 경험맞춤형 흑연 및 SiC 코팅 부품LED 및 화합물 반도체 에피택시용

FAQ:
1. 웨이퍼 캐리어의 역할MOCVDLED 에피택시?

A: MOCVD 반응기 내부에서 웨이퍼를 고정하고 회전시키며, 에피택셜 성장 중에 온도를 일정하게 유지하는 데 도움이 됩니다.

2. MOCVD에 SiC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어를 사용하는 이유는 무엇입니까?

답:CVD SiC 코팅더 나은 내식성, 열 안정성 및 내구성을 제공합니다. 또한 고온 에피택시에서 입자 오염을 줄이는 데 도움이 됩니다.

3. Vetek Semiconductor는 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제작합니까?
답: 그렇습니다. 우리는 귀하의 반응기 플랫폼, 웨이퍼 크기, 포켓 레이아웃 및 기타 공정 요구 사항을 기반으로 맞춤형 캐리어를 설계할 수 있습니다.