Veeco mocvd 히터

VeTeksemi의 VEECO MOCVD 히터는 불순물 함량이 5ppm 이하로 엄격하게 제어되는 고순도 흑연 소재로 제작되었으며,화학기상증착(CVD) 공정. 이 재료의 조합은 히터에 일련의 주요 특성을 제공하여 우수한 성능을 보장합니다.금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD)프로세스.

VEECO MOCVD 히터의 뛰어난 특징 중 하나는 탁월한 화학적 순도입니다. 고순도 흑연 코어는 고온 공정에서 오염 물질이 유입될 가능성을 크게 줄여 매우 깨끗한 필름 증착 공정을 보장합니다. 그만큼CVD SIC 코팅히터를 추가로 보호하여 필름 품질을 손상시킬 수 있는 화학 반응을 방지하는 강력한 장벽을 형성합니다. 이러한 탁월한 순도는 고성능의 안정적인 반도체 장치를 제조하는 데 필수적입니다.

동시에, 히터는 매우 높은 열 안정성과 효율을 나타냅니다. SIC는 높은 용융점과 우수한 열전도율을 가지므로 히터가 효과적으로 열을 관리하고 전도 할 수 있습니다. 이는 기판을 가로 지르는 균일 한 가열을 보장하여 균일 한 필름 증착을 달성하고 열 구배로 인한 결함을 감소시키는 데 도움이됩니다. 이러한 열 효율은 정밀 제조에 특히 중요합니다.

VEECO MOCVD 히터는 전기적 성능도 뛰어납니다. 고순도 흑연 코어는 전기 전도성이 뛰어나 히터가 높은 전기 부하 요구 사항을 처리할 수 있도록 합니다. 이러한 안정적인 전기적 성능을 통해 히터는 고부하 조건에서 정확한 온도 제어 및 증착 속도를 유지할 수 있으며, 이는 일관된 공정 조건을 보장하고 반도체 제조 효율성을 향상시키는 데 중요합니다.

히터의 표면 디자인은 높은 기판 방사율을 갖도록 세심하게 최적화되어 복사열 전달 효율을 크게 향상시킵니다. 균일하게 가열하는 능력은 일관된 필름 증착 두께와 특성을 보장하는 핵심 요소입니다. 또한 높은 방사율 표면 설계는 히터의 전반적인 열 효율을 향상시켜 에너지 소비를 줄이고 운영 비용을 낮춥니다.

내구성 측면에서 VeTeksemi의 VEECO MOCVD 히터는 내식성, 내산화성 및 기계적 강도가 우수합니다. CVD SiC 코팅은 MOCVD 공정에서 흔히 발생하는 부식성 가스와 화학 물질에 대한 견고한 장벽을 제공하여 장비 수명을 연장하고 유지 관리 필요성과 교체 비용을 줄입니다. 산화 저항성은 히터가 성능 저하 없이 고온에서 안정적으로 유지되어 장기적인 안정성을 보장합니다.

또한 VeTeksemi MOCVD 히터의 높은 기계적 강도 덕분에 열 순환 및 기판 취급 중에 발생하는 물리적 응력을 견딜 수 있습니다. 견고성은 기계적 고장의 위험을 줄이고 열악한 공정 조건에서도 장비의 안정적인 작동을 보장합니다.

VeTeksemi는 VEECO MOCVD 히터 제품의 고급 제조업체 및 공급업체로서 다음과 같은 다양한 고품질 히터 제품도 제공합니다.TaC 코팅히터, 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터, 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터Vetek 반도체는 반도체 산업에 고급 및 맞춤형 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 바랍니다.