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그래서지지를 코팅합니다
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그래서지지를 코팅합니다

Vetek 반도체는 CVD SIC 코팅 및 CVD TAC 코팅의 연구 개발 및 산업화에 중점을 둡니다. SIC 코팅 감수체를 예를 들어,이 제품은 높은 정밀도, 조밀 한 CVD SIC 코팅, 고온 저항 및 강한 부식 저항으로 고도로 가공됩니다. 우리에 대한 귀하의 문의는 환영합니다.

공장에서 SIC 코팅 감수자를 구입하도록 안심할 수 있습니다. CVD SIC 코팅 제조업체로서 Vetek Semiconductor는 고순도 흑연 및 SIC 코팅 감수기 (5ppm 미만)로 만들어진 SIC 코팅 감수기를 제공하고자합니다.


Vetek Semiconductor에서 우리는 기술 연구, 개발 및 제조를 전문으로하여 업계에 다양한 고급 제품을 제공합니다. 우리의 주요 제품 라인에는 CVD SIC 코팅+고순도 흑연, SIC 코팅 감수기, 반도체 석영, CVD TAC 코팅+고순도 흑연, 강성 펠트 및 기타 재료가 포함됩니다.

우리의 주력 제품 중 하나는 SIC 코팅 감수자로, 에피 택셜 웨이퍼 생산의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 혁신적인 기술로 개발되었습니다. 에피 택셜 웨이퍼는 단단한 파장 분포와 낮은 표면 결함 수준을 나타내므로 SIC 코팅 감수자를 이러한 중요한 매개 변수를 달성하는 데 필수적인 구성 요소가되어야합니다.

SIC 코팅 감수자의 장점 :


✔ 기본 재료 보호: CVD SIC 코팅은 에피 택셜 프로세스 동안 보호 층으로서 작용하여 외부 환경으로 인한 침식 및 손상으로부터 기본 재료를 효과적으로 보호합니다. 이 보호 측정은 장비의 서비스 수명을 크게 확장합니다.

우수한 열전도율: 우리의 CVD SIC 코팅은 뛰어난 열전도율을 가지며, 기본 재료에서 코팅 표면으로의 열을 효율적으로 전달합니다. 이는 에피 택시 동안 열 관리 효율을 향상시켜 장비의 최적의 작동 온도를 보장합니다.

✔ 영화 품질 향상: CVD SIC 코팅은 평평하고 균일 한 표면을 제공하여 필름 성장을위한 이상적인 기초를 만듭니다. 격자 불일치로 인한 결함을 줄이고, 에피 택셜 필름의 결정 성과 품질을 향상 시키며 궁극적으로 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.


에피 택셜 웨이퍼 생산 요구에 대해 Vetek 반도체 SIC 코팅 감수자를 선택하고 향상된 보호, 우수한 열전도율 및 개선 된 필름 품질로부터 이익을 얻으십시오. 반도체 산업에서의 성공을 주도하기위한 Vetek 반도체의 혁신적인 솔루션에 대한 신뢰.

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성
재산 전형적인 가치
결정 구조 FCC β 상 다결정, 주로 (111) 배향
CVD SIC 밀도 3.21 g/cm³
CVD SIC 코팅 경도 2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기 2 ~ 10mm
화학적 순도 99.99995%
열용량 640 J · Kg-1·케이-1
승화 온도 2700 ℃
굽힘 강도 415 MPa RT 4 점
영률 430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율 300W · m-1·케이-1
열 팽창 (CTE) 4.5 × 10-6K-1

Veteksemi Sic 코팅 감수자 생산 상점 :

SiC Coating Susceptor Production shops

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