MOCVD용 고순도 불투명 석영 쉴드 및 셔터

1. 기술 사양

우리는 귀하의 특정 장비 모델에 완벽하게 맞도록 귀하의 기술 도면을 기반으로 고정밀 가공을 제공합니다.

2. 핵심 응용 분야

● MOCVD 공정 보호: 반응 환경을 보호하기 위한 필수 내부 쉴드/라이너 역할을 합니다.

● 반도체 에피택시: 박막 성장 시 흐름 및 온도 안정화를 위한 고정밀 셔터로 사용됩니다.

● 와이드 밴드갭 반도체 제조: GaN 및 기타 첨단 소재에 대한 수요가 높은 환경과 호환됩니다.

3. VETEK 석영 솔루션을 선택하는 이유는 무엇입니까?

● 탁월한 열복사 관리: 당사의 유백색 석영에는 고온의 열복사(>1000°C)를 효과적으로 산란 및 차단하는 미세 기포가 고밀도로 함유되어 있습니다. 발열체에서 가시광선과 근적외선을 흡수하여 원적외선으로 변환하여 매우 균일한 가열을 보장합니다.
● 오염 제어 및 유지 관리 용이: 희생 또는 교체 가능한 내부 라이너인 Quartz Shield는 값비싼 챔버 벽과 히터에 부산물이 쌓이는 것을 방지하여 반응 챔버를 깨끗하게 유지합니다. 이러한 부품은 습식 세정(예: SPM+DHF 용액)을 통해 재생되거나 쉽게 교체되어 높은 웨이퍼 수율을 보장할 수 있습니다.
● 극도의 내화학성: VETEK 석영은 빈번한 열 순환을 견디고 금속 유기물(예: TMGa) 및 수소화물(예: AsH₃)에 의한 부식을 방지하도록 설계되었습니다.
● 정밀 공정 제어: 당사의 Quartz Shutter는 적외선 또는 필라멘트 가열 하에서도 높은 치수 안정성을 유지합니다. 낮은 열 관성은 신속한 기계적 반응을 가능하게 하여 정밀한 "원자 수준" 성장 제어를 가능하게 하고 다중 웨이퍼 또는 다중 프로세스 전환 중 교차 오염을 방지합니다.
● 비용 효율적인 대안: 엄격한 예산 요구 사항이 있는 프로젝트의 경우 당사의 석영 제품은 코팅된 흑연에 비해 안정적인 진입점을 제공하여 MOCVD 시스템에 필수적인 보호 및 기능을 제공합니다.