TEL용 고순도 석영 웨이퍼 보트

제품 장점

1. 고순도 석영 재질 :반도체 공정 중 오염 위험을 최소화하기 위해 고순도 석영으로 제작되었습니다.

2. 우수한 열 안정성 :반복되는 고온 처리 조건에서 안정적인 성능을 제공합니다.

3. 낮은 입자 발생:매끄러운 표면 마감은 입자 생성을 줄이고 공정 청결을 유지하는 데 도움이 됩니다.

4. 맞춤형 디자인 :고객 장비 요구 사항에 따라 맞춤형 치수, 웨이퍼 크기 및 구조를 지원합니다.

5. 정밀 석영 가공:불연마, 용접, 어닐링 등 고급 석영 가공 기술을 통해 제조됩니다.

기술 사양

응용

고순도 석영 웨이퍼 보트는 다음을 포함하여 반도체 열 처리 장비에 널리 사용됩니다.

- 확산로

- 산화로

- 어닐링 장비

- CVD 공정 시스템

IC 제조, 전력 반도체 생산 및 기타 고급 반도체 프로세스의 웨이퍼 핸들링 애플리케이션에 적합합니다.

VETEK을 선택하는 이유는 무엇입니까?

1. 반도체재료 전문기술：VETEK은 고순도 반도체 재료 및 공정 부품에 중점을 두고 석영 부품, CVD SiC 코팅 제품, 흑연 부품 및 기타 고급 재료를 포함한 솔루션을 제공합니다.

2. 고급 석영 가공 능력:VETEK은 고품질 부품 요구 사항을 충족하기 위해 화재 연마, 용접 및 어닐링을 포함한 반도체급 석영 처리 서비스를 제공합니다.

3. 맞춤형 반도체 솔루션:VETEK은 고객 장비, 웨이퍼 크기 및 프로세스 요구 사항을 기반으로 맞춤형 반도체 부품을 지원합니다.