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고급 다공성 흑연
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고급 다공성 흑연

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이름에서 알 수 있듯이 진행된 다공성 흑연은 그 구조의 상호 연결된 공극 또는 기공을 함유하는 흑연의 한 유형입니다. 이 기공의 크기는 크게 다를 수 있으며, 이는 재료의 성능 특성에 영향을 미칩니다.


고급 다공성 흑연의 특성


● 넓은 표면적 및 강한 흡착 용량

다공성 흑연의 가장 탁월한 장점 중 하나는 비 지공 흑연에 비해 훨씬 더 큰 표면적이며, 이는 매우 흡착제입니다.

●  우수한 열 및 전기 전도성

다공성 흑연은 우수한 열 및 전기 전도성을 갖는다. 이 특성은 열 소산 또는 전기 전도도가 필요한 응용 분야에서 특히 중요합니다.

●  우수한 기계적 강도

다공성 흑연의 기계적 강도는 기공 구조 및 제조 공정과 관련이 있습니다. 다공성 흑연의 기계적 강도는 비 다공성 흑연만큼 좋지는 않지만 기계적 특성은 여전히 ​​우수합니다.

●  화학적 불활성

흑연 생성물로서, 다공성 흑연은 화학적으로 불활성이며 부식성 환경에서 작동 할 수 있습니다. 화학적 불활성은 산, 염기 및 용매에 대한 저항이 필요한 화학 공정에서 다공성 흑연을 사용하는 데 도움이됩니다.

●  제조 가능성 및 높은 사용자 정의 가능성

다공성 흑연의 기공 구조는 여러 가지 방법으로 사용자 정의 될 수 있습니다. 화학 증기 증착과 같은 기술은 고객이 원하는 기공 크기 및 분포를 달성하는 데 사용될 수 있습니다.


고급 다공성 흑연의 응용


●  SIC 결정 성장

연구에 따르면 SIC의 결정 성장에서 다공성 흑연의 적용은 미세 소관 및 기타 결함의 수를 줄이고 결정에서 불순물 요소의 함량을 줄이기 때문에 다공성 흑연이 SIC 결정의 생산에 큰 도움이 될 수 있습니다.

●  웨이퍼 제조

우수한 열전도율 및 부식 저항으로 인해 다공성 흑연을 사용하여 흑연 보트 및 흑연 척과 같은 웨이퍼 캐리어를 제조 할 수 있습니다. 다공성 흑연은 고온 환경에서 안정적으로 작동하여 웨이퍼가 균일 한 온도 분포를 유지하여 처리 정확도를 보장 할 수 있습니다.

●  화학 기상 증착 (CVD)

다공성 흑연은 고온에 내성이 있고 화학적으로 불활성이므로, 고품질 필름 증착을 촉진하기 위해 CVD 공정의 일부로서 반응기 라이너 및 전극 재료로서 종종 사용된다.

●  반도체 장치의 열 소산

다공성 흑연의 우수한 열전도율은 반도체 장치의 열 소산 용액에 이상적인 선택입니다. 방열판 또는 열 인터페이스 재료로 만들어 빠른 열 소산을 도와주고 장치의 작동 효율과 수명을 향상시킬 수 있습니다.

●  에칭 및 에칭 프로세스

반도체 제조의 건식 에칭 공정에서, 다공성 흑연은 전극 재료 또는 음극 재료로 사용될 수 있으며, 부식성 및 전기 전도도는 부식성 혈장의 침식을 견딜 수 있도록 도와줍니다.

●  고순도 적용

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