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고순도 흑연 고리

고순도 흑연 고리

고순도 흑연 고리는 GAN 에피 택셜 성장 공정에 적합합니다. 그들의 우수한 안정성과 뛰어난 성능으로 인해 널리 사용되었습니다. Vetek 반도체는 GAN 에피 택시 산업이 계속 발전하도록 돕기 위해 세계 최고의 고순도 흑연 링을 생산하고 제조합니다. Veteksemi는 중국의 파트너가되기를 기대합니다.


Simple diagram of GaN epitaxial growth과정간 에피 택시성장은 고온, 부식성 환경에서 수행됩니다. 간 에피 택셜 성장 용광로의 핫 영역에는 일반적으로 히터, 도가니, 흑연 전극, 도가니 홀더, 전극 너트 등과 같은 열 내성 및 부식성 고급 흑연 부품이 장착되어 있습니다. 흑연 링 씰은 중요한 부품 중 하나입니다.


Vetek Semiconductor의 고순도 흑연 고리는 순도가 매우 높은 순수한 흑연으로 만들어졌으며 완제품의 Ash 함량은 <5ppm 일 수 있습니다.

흑연 고리는 고온 저항 및 부식 저항, 우수한 전기 및 열전도율, 화학적 안정성 및 열 충격 저항의 특성을 가지므로 Gan Epitaxial 성장 용광로에 사용하기에 적합합니다.


Vetek Semiconductor의 고급 흑연 흑연 고리는 안정적인 성능과 긴 서비스 수명을 가진 최고 품질의 흑연으로 만들어집니다. GAN 에피 택셜 성장을 수행 해야하는 경우, 고급 흑연 고리가 흑연 부품의 최선의 선택입니다.


Vetek 반도체는 고객에게 고도로 맞춤화 된 제품을 제공 할 수 있습니다. 링의 크기 나 재료이든 고객의 다양한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 우리는 언제든지 귀하의 상담을 기다리고 있습니다.


SGL 6510 흑연의 재료 데이터


일반적인 속성
단위
테스트 표준

평균 입자 크기
μm
ISO 13320
10
벌크 밀도
g/cm3
IEC 60413/204에서
1.83
열린 다공성
Vol.%
66133에서
10
중간 기공 입구 직경
μm
66133에서
1.8
투과성 계수 (주변 온도)
cm2/에스
51935에서
0.06
로크웰 경도 HR5/100
 \ IEC 60413/303에서
90
저항
μΩm
IEC 60413/402에서
13
굽힘 강도
MPA
IEC 60413/501에서
60
압축 강도
MPA
51910에서
130
탄성의 동적 계수
MPA
51915에서
11.5 x 103
열 팽창 (20-200 ℃)
K-1
51909에서
4.2x10-6
열전도율(20 ℃)
Wm-1K-1
51908에서
105
애쉬 콘텐츠
ppm
51903에서
\

Vetek 반도체 고순도 흑연 링 제품 상점 :


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