화학 기상 증착 공정 고체 SIC 에지 링

CVD 프로세스 솔리드 SIC 에지 링 :

● 재료: 포커싱 링은 고강도 SIC, 고순도 및 고성능 세라믹 재료로 제작됩니다. 화학 증기 증착에 의해 제조된다. 고체 SIC 재료는 탁월한 내구성, 고온 저항성 및 우수한 기계적 특성을 제공합니다.

●  장점: CVD SIC 링은 탁월한 열 안정성을 제공하여 건식 에칭 프로세스에서 발생하는 고온 조건에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 경도가 높으면 기계적 스트레스와 마모에 대한 저항을 보장하여 서비스 수명이 연장됩니다. 또한, Solid SIC는 화학적 불활성을 나타내며, 부식으로부터 보호하고 시간이 지남에 따라 성능을 유지합니다.

CVD SIC 코팅 :

●  재료: CVD SIC 코팅은 화학 증기 증착 (CVD) 기술을 사용한 SIC의 박막 증착이다. 코팅은 표면에 SIC 특성을 제공하기 위해 흑연 또는 실리콘과 같은 기판 물질에 적용된다.

●  비교: CVD SIC 코팅은 복잡한 모양 및 조정 가능한 필름 특성에 대한 적합성 증착과 같은 몇 가지 장점을 제공하지만 Solid SIC의 견고성과 성능과 일치하지 않을 수 있습니다. 코팅 두께, 결정 구조 및 표면 거칠기는 CVD 공정 파라미터에 따라 달라질 수 있으며, 코팅의 내구성과 전반적인 성능에 잠재적으로 영향을 미칩니다.

요약하면, Vetek 반도체 솔리드 SIC 포커싱 링은 건식 에칭 애플리케이션을위한 탁월한 선택입니다. 고체 SIC 재료는 고온 저항성, 탁월한 경도 및 화학적 불활성을 보장하여 신뢰할 수 있고 오래 지속되는 솔루션이됩니다. CVD SIC 코팅은 증착의 유연성을 제공하는 반면, CVD SIC 링은 건식 에칭 프로세스를 요구하는 데 필요한 타의 추종을 불허하는 내구성과 성능을 제공하는 데 탁월합니다.

견고한 SIC의 물리적 특성