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탄탈륨 탄화물 코팅 척
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탄탈륨 탄화물 코팅 척

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 탄탈 룸 탄화물 코팅 척 제조업체 및 혁신가이며, 수년간 TAC 코팅을 전문으로 해왔습니다.

Vetek 반도체 공급 고품질 탄탈 룸 카바이드 코팅 척, 경쟁력있는 가격을 가진 SIC 코팅 부품. 이 액세서리는 반도체 제조의 효율성과 품질을 향상시켜 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다.

고품질 재료로 제작되고 정밀도로 제조 된 척은 CVD 탄탈 룸 카바이드 (TAC)로 코팅 된 흑연 기판을 특징으로합니다. 이 코팅은 우수한 열 안정성, 고순도 및 고온에 대한 저항성을 제공합니다. MOCVD 프로세스의 까다로운 조건에서 신뢰할 수있는 성능을 보장합니다.

척은 다양한 반도체 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있도록 사용자 정의 할 수 있으므로 다양한 생산 요구 사항에 적합합니다. 강력한 건설은 웨이퍼 캐리어 및 감수자와 관련된 다운 타임 및 유지 보수 비용을 최소화합니다.

Vetek 반도체 인 Tantalum Carbide Coated Chuck을 통해 Aixtron G10 MoCVD 시스템은 반도체 제조의 더 높은 효율과 우수한 결과를 달성합니다. 탁월한 열 안정성, 다양한 웨이퍼 크기와의 호환성 및 안정적인 성능은 생산 효율을 최적화하고 도전적인 MOCVD 환경에서 뛰어난 결과를 달성하는 데 필수적인 도구가됩니다.


탄탈 룸 카바이드 코팅 척의 제품 매개 변수

TAC 코팅의 물리적 특성
밀도 14.3 (g/cm³)
특정 방사율 0.3
열 팽창 계수 6.3 10-6/케이
경도 (HK) 2000 hk
저항 1 × 10-5옴*cm
열 안정성 <2500 ℃
흑연 크기 변화 -10 ~ -20UM
코팅 두께 ≥20UM 일반 값 (35um ± 10um)


구성 요소를 사용한 후 웨이퍼 성능 :

Wafer performance after using our components


반도체 생산 상점 비교 :

VeTek Semiconductor Production Shop


반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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