실리콘 카바이드 (sic) 캔틸레버 패들

탄화규소(SiC) 캔틸레버 패들은 웨이퍼 가공 공정에서 없어서는 안 될 핵심 부품입니다. 주로 웨이퍼 이송 시스템의 일부입니다. 고온 산화 확산로와 같은 장비에서 웨이퍼를 운반 및 운반하고 웨이퍼와 퍼니스 튜브의 동심도를 보장하며 웨이퍼 처리의 일관성과 수율을 향상시키는 중요한 작업을 수행합니다.

SIC 캔틸레버 패들은 고온 성능이 우수합니다. 최대 1600 ℃의 고온 환경에서 SIC 캔틸레버 패들은 여전히 ​​높은 강도와 ​​안정성을 유지하고 변형, 손상 및 기타 문제가 없으며 오랫동안 안정적으로 작동 할 수 있습니다.

실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 고순도 SIC 재료로 만들어졌으며 웨이퍼 가공 중에는 웨이퍼 표면의 오염을 피하기 위해 입자가 떨어지지 않습니다. 실리콘 카바이드 물질은 굽힘 강도가 높으며 더 많은 웨이퍼를 운반 할 때 더 큰 스트레스를 견딜 수 있으며 파손되기 쉽지 않아 웨이퍼 전송 공정의 안전성과 안정성을 보장합니다. SIC의 우수한 화학적 안정성은 다양한 화학 물질 및 가스의 SIC 캔틸레버 패들이 부식에 저항하는 데 도움이되며, 재료 부식으로 인해 웨이퍼를 오염시키는 것을 방지하며 제품의 서비스 수명을 연장시킵니다.

SiC 캔틸레버 패들 작업 다이어그램

제품 사양

● 다양한 크기: 우리는 다양한 유형의 반도체 장비의 요구를 충족시키고 다양한 크기의 웨이퍼 처리의 요구를 충족시키기 위해 다양한 크기의 실리콘 카바이드 (SIC) 캔틸레버 패들을 제공합니다.

●  맞춤형 서비스: 표준 사양 제품 외에도 특정 크기, 모양, 부하 용량 등과 같은 특수 요구 사항에 따라 고객을위한 독점 솔루션을 만들 수 있습니다.

●  일체형 몰딩 디자인: 일반적으로 연결 섹션, 전환 섹션 및 베어링 섹션을 포함한 일체형 성형 공정을 사용하여 제조됩니다. 부품은 밀접하게 연결되어 있으며 무결성이 강하기 때문에 제품의 구조적 강도와 안정성을 효과적으로 향상시키고 연결 부품이 약한 고장 위험을 줄입니다.

●  강화 된 구조: 일부 제품은 바닥판, 압력판, 커넥팅 로드 등 천이부 등 핵심 부품에 보강구조를 장착해 천이부와 연결부와 베어링부 사이의 연결강도를 더욱 높인다. , 웨이퍼 운반시 고순도 SiC 캔틸레버 패들의 신뢰성을 향상시키고 전이 영역의 파손 등의 문제를 방지합니다.

●  특수 베어링 영역 설계: 베어링 영역의 설계는 웨이퍼의 배치와 열 전달을 충분히 고려합니다. 일부 제품에는 베어링 영역에 U자형 홈, 긴 스트립 구멍, 직사각형 구멍 및 기타 구조가 장착되어 있어 베어링 영역 자체의 무게를 줄일 뿐만 아니라 웨이퍼와의 접촉 영역을 줄여 열 차단을 방지합니다. 동시에 전송 중에 웨이퍼의 안정성을 보장하고 웨이퍼가 떨어지는 것을 방지할 수도 있습니다.

재결정 실리콘 탄화물의 물리적 특성 ：

생산 과정에서 각 실리콘 카바이드(SiC) 캔틸레버 패들은 치수 정확도 검사, 외관 검사, 물리적 특성 테스트, 화학적 안정성 테스트 등을 포함한 엄격한 품질 검사를 거쳐 제품이 높은 품질 표준을 충족하고 충족할 수 있는지 확인해야 합니다. 반도체 웨이퍼 처리의 엄격한 요구 사항.

VeTek Semiconductor는 광범위한 애프터 서비스를 제공합니다. 고객이 사용 중에 문제가 발생하면 전문 애프터 서비스 팀이 적시에 대응하고 고객의 생산에 영향을 미치지 않도록 빠르고 효과적인 솔루션을 제공합니다.

VeTek 반도체고순도 SiC 캔틸레버 패들 생산 공장: