8인치 CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 에피택시 탑 링

8인치 SiC Epi Top Ring의 주요 특징

● 고순도: 최소 99.9995%. 금속은 에피층으로 이동하지 않습니다. 이는 웨이퍼 캐리어 농도를 필요한 곳에 유지합니다.

● 파티클 억제: CVD 구조가 조밀합니다. 모공이 없습니다. 도구가 실행되는 동안 입자가 떨어지지 않습니다. 공장에서는 이런 방식으로 더 나은 생산량을 얻습니다.

● 내열성: 링은 1500°C에서 안정적으로 유지됩니다. 낮은 CTE(열팽창)는 빠른 가열/냉각 주기 동안 뒤틀림이 없음을 의미합니다.

● 화학적 안정성: 고체 CVD SiC는 H2 및 HCl 가스에 저항합니다. 또한 NH3에도 저항합니다. 벗겨지는 코팅이 없습니다. 가혹한 CVD 환경에서도 품질이 저하되지 않습니다.

● 부품 수명: 표면이 매우 단단합니다. 반복적인 HF/HCl 화학 세척에도 견딜 수 있습니다. 이렇게 하면 교체 빈도가 줄어듭니다. 또한 팹의 총 소유 비용도 절감됩니다.

기술 사양

배치 간 코팅 두께의 균일성은 10um로 제어됩니다.

응용

CVD SiC 에피톱 링은 다음 분야에 널리 사용됩니다.

● 실리콘 에피택시(Si Epi) 반응기

● 실리콘 카바이드 에피택시(SiC Epi)

● MOCVD 시스템

● CVD 증착장비

일반적으로 다음과 쌍을 이룹니다:

● 수용체

● 웨이퍼 캐리어

● 예열 링

● 에피택시 반응기

VETEK SiC Epi Top Ring을 선택하는 이유는 무엇입니까?

● 전체 제조 능력: 

원료 정제부터 정밀 가공, CVD 코팅까지 VETEK은 전체 생산 공정을 제어하여 일관된 반도체 등급 품질을 보장합니다.

● 높은 정확도: 

우리는 미크론 수준의 가공을 사용합니다. CVD 두께는 매우 균일합니다. 이렇게 하면 모든 링이 정확히 동일한 방식으로 작동하게 됩니다.

FAQ

(1) SiC 에피탑링은 어떤 역할을 하나요?

링은 열과 가스 흐름을 관리합니다. 이는 박막이 웨이퍼 전체에 고르게 성장하도록 합니다.

(2) CVD SiC가 흑연보다 나은 이유는 무엇입니까?

흑연은 다공성입니다. 흑연에는 기공이 있어 가스를 방출합니다. 고체 CVD SiC는 밀도가 높고 깨끗합니다. 부식성 도구에서는 훨씬 더 오래 지속됩니다.

(3).8인치 SiC 탑링을 맞춤 제작할 수 있나요?

예. 우리는 귀하의 특정 도구 도면을 기반으로 제작합니다. 귀하의 프로세스에 따라 형상을 조정할 수 있습니다.

(4). SiC 에피택시 링을 사용하는 산업은 무엇입니까?

주로 전력소자, RF소자, SiC 웨이퍼 생산 등 반도체 제조에 사용됩니다.