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Epitaxy에 대한 우리의 SIC 코팅 된 밀봉 링은 화학 증기 증착 (CVD)에 의해 고급 규모의 실리콘 카바이드 (CVD)로 코팅 된 흑연 또는 탄소-탄소 복합재를 기반으로 한 고성능 밀봉 성분이며, 이는 흑연의 열 안정성을 SIC의 극도의 환경 저항성을 결합하고 세미네도르 에피축 장비 (예를 들어)를 위해 설계된다.

우리의 고순도 석영 보트는 융합 석영으로 만들어졌습니다 (Sio₂ 함량 ≥ 99.99%). 극한 환경에 대한 저항, 낮은 열 확장 계수 및 긴 수명주기에 대한 저항력으로 반도체 및 새로운 에너지 산업에서는 소비 할 수없는 주요 주요 키가되었습니다.

에칭을위한 초점 링은 프로세스 정확도와 안정성을 보장하기위한 핵심 구성 요소입니다. 이들 성분은 혈장 분포, 에지 온도 및 전기장 균일 성의 정확한 제어를 통해 웨이퍼 표면상의 나노 스케일 구조의 균일 한 가공을 달성하기 위해 진공 챔버에 정확하게 조립된다.

Veteksemicon 단일 웨이퍼 EPI 흑연 감수자는 고성능 실리콘 카바이드 (SIC), GAN (Gallium nitride) 및 기타 3 세대 반도체 에피 택셜 프로세스를 위해 설계되었으며, 질량 생산에서 고정산 에피축 시트의 핵심 베어링 구성 요소입니다.

Veteksemicon은 중국의 주요 진공 척 제조업체이며, 세라믹 진공 척은 웨이퍼와 잉곳과 잉곳을 정확하게 흡착하고 고정시키는 고급 진공 흡착 장치 역할을합니다. 문의를 환영합니다.

Vetek Semiconductor의 고순도 흑연 용지는 엄격한 순도 및 성능 표준을 충족하도록 설계된 프리미엄 제품입니다. 최대 99.9%의 탁월한 순도 수준을 갖춘 흑연 용지는 배터리 시스템, 연료 전지, 열 관리 솔루션, 반도체 열 필드 등과 같은 다양한 응용 분야를위한 신뢰할 수있는 옵션입니다. 독점적 인 제조 공정을 통해 제작 된이 흑연 용지는 균일 성과 일관성을 보장하여 비교할 수없는 전기 전도성과 열 안정성을 제공합니다. 전문 프로젝트의 신뢰성과 우수성을위한 Trust Vetek 반도체의 고순도 흑연 용지.