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VeTek Semiconductor는 중국의 전문 다공성 흑연 가이드 링 제조업체 및 공급업체입니다. 우리는 내구성이 뛰어난 고급 다공성 흑연 가이드 링을 제공할 뿐만 아니라 맞춤형 서비스도 지원합니다. 우리 공장에서 다공성 흑연 가이드 링을 구입하는 것을 환영합니다.

VETEK MOCVD SiC 코팅 서셉터는 LED 및 화합물 반도체 에피택셜 성장을 위해 특별히 개발된 정밀 엔지니어링 캐리어 솔루션입니다. 복잡한 MOCVD 환경에서 탁월한 열 균일성과 화학적 불활성을 보여줍니다. VETEK의 엄격한 CVD 증착 프로세스를 활용하여 웨이퍼 성장 일관성을 강화하고 핵심 구성 요소의 서비스 수명을 연장하여 모든 반도체 생산 배치에 대해 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능 보증을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

Vetek CVD TaC 코팅 서셉터는 고성능 MOCVD 에피택셜 성장을 위해 특별히 개발된 정밀 솔루션입니다. 1600°C의 극한 고온 환경에서 뛰어난 열 안정성과 화학적 불활성을 보여줍니다. VETEK의 엄격한 CVD 증착 프로세스를 기반으로 당사는 웨이퍼 성장 균일성을 개선하고, 핵심 부품의 서비스 수명을 연장하며, 모든 반도체 생산 배치에 대해 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능 보장을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

Veteksemicon 고체 탄화규소(SiC) 포커싱 링은 플라즈마 분포, 열 균일성 및 웨이퍼 가장자리 효과의 정밀한 제어가 필수적인 고급 반도체 에피택시 및 플라즈마 에칭 공정에 사용되는 중요한 소모성 부품입니다. 고순도 고체 탄화규소로 제조된 이 포커싱 링은 탁월한 플라즈마 침식 저항성, 고온 안정성 및 화학적 불활성을 나타내어 공격적인 공정 조건에서도 안정적인 성능을 제공합니다. 귀하의 문의를 기다리겠습니다.

탄화규소 결정 성장은 고성능 반도체 소자 제조의 핵심 공정입니다. 결정 성장 장비의 안정성, 정밀도 및 호환성은 탄화규소 잉곳의 품질과 수율을 직접적으로 결정합니다. Veteksemi는 PVT(물리적 증기 수송) 기술의 특성을 기반으로 실리콘 카바이드 결정 성장을 위한 저항 가열로를 개발하여 전도성, 반절연 및 N형 재료 시스템과 완벽하게 호환되는 6인치, 8인치 및 12인치 실리콘 카바이드 결정의 안정적인 성장을 가능하게 합니다. 온도, 압력, 전력의 정밀한 제어를 통해 EPD(Etch Pit Density), BPD(Basal Plane Dislocation) 등의 결정결함을 효과적으로 줄이며, 낮은 에너지 소비와 컴팩트한 디자인으로 산업 대규모 생산의 높은 기준을 충족합니다.

SiC 종자 결합 기술은 결정 성장에 영향을 미치는 핵심 공정 중 하나입니다. VETEK은 이 공정의 특성을 기반으로 종자 결합을 위한 특수 진공 핫 프레스로를 개발했습니다. 퍼니스는 시드 접합 과정에서 발생하는 다양한 결함을 효과적으로 감소시켜 결정 잉곳의 수율과 최종 품질을 향상시킬 수 있습니다.