기타 반도체 세라믹

Veteksemicon의 다공성 SIC 세라믹 척은 에칭, 이온 임플란트, CMP 및 검사와 같은 고급 반도체 프로세스에서 안전하고 입자가없는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 정밀 엔지니어링 진공 플랫폼입니다. 고순도 다공성 실리콘 카바이드에서 제조 된이 제품은 뛰어난 열전도율, 화학 저항 및 기계적 강도를 제공합니다. Veteksemicon은 사용자 정의 가능한 기공 크기 및 치수를 통해 클린 룸 웨이퍼 처리 환경의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

우리의 석영 웨이퍼 보트는 반도체, LED, 태양 전지 및 배터리 제조 공정에 맞게 조정 된 고급 웨이퍼 캐리어 솔루션입니다. 고온과 화학적으로 공격적인 환경을 견딜 수 있도록 설계된이 석영 보트는 낮은 열 팽창, 우수한 전기 절연 및 장기 치수 안정성을 특징으로합니다. 확산, 산화 및 LPCVD 공정에 이상적 인 정확한 웨이퍼 정렬을 지원하며 다양한 장비 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 크기로 제공됩니다.

우리의 고순도 석영 보트는 융합 석영으로 만들어졌습니다 (Sio₂ 함량 ≥ 99.99%). 극한 환경에 대한 저항, 낮은 열 확장 계수 및 긴 수명주기에 대한 저항력으로 반도체 및 새로운 에너지 산업에서는 소비 할 수없는 주요 주요 키가되었습니다.

에칭을위한 초점 링은 프로세스 정확도와 안정성을 보장하기위한 핵심 구성 요소입니다. 이들 성분은 혈장 분포, 에지 온도 및 전기장 균일 성의 정확한 제어를 통해 웨이퍼 표면상의 나노 스케일 구조의 균일 한 가공을 달성하기 위해 진공 챔버에 정확하게 조립된다.

Veteksemicon은 중국의 주요 진공 척 제조업체이며, 세라믹 진공 척은 웨이퍼와 잉곳과 잉곳을 정확하게 흡착하고 고정시키는 고급 진공 흡착 장치 역할을합니다. 문의를 환영합니다.

반도체 등급 Quartz Bell Jar는 주로 고온, 고압 및 고순도 환경에서 사용되는 중요한 장비 구성 요소입니다. 고순도 석영 소재로 만들어져 열안정성, 내화학성, 광학적 투명성이 우수해 반도체 제조, LED 생산 등 산업분야에서 널리 사용된다. VeTek Semiconductor는 반도체 등급 Quartz Bell Jar에서 다년간의 공정 축적을 보유하고 있으며 고객 요구에 따라 맞춤형 제품을 제공할 수 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.