석영 웨이퍼 보트

석영 웨이퍼 보트는 반도체 제조 공정에서 필수 불가능한 정밀 도구입니다. 고온 확산 공정에서 중요한 역할을하며 LED, 태양 전지, 전통적인 반도체 장치, 다이오드 및 기타 필드에서 널리 사용됩니다. 이러한 응용 분야에서, 웨이퍼 보트의 주요 기능은 반도체 웨이퍼를 안정적으로 운반하고 정확하게 배치하여 웨이퍼가 고온 확산 용광로에서 균등하게 가열되어 도핑 또는 산화와 같은 주요 공정 단계를 달성하는 것입니다. 우수한 물리적 특성은 석영 웨이퍼 보트를 고성능 반도체 장치의 초석으로 만듭니다.

주요 자료 이점

고급 융합 석영으로 건설 된 석영 웨이퍼 보트는 반도체 적용을 요구하는 데 중요한 우수한 열, 화학 및 전기 특성의 조합을 제공합니다.

● 낮은 열 팽창 계수

석영 재료는 열 팽창 계수가 매우 낮으며, 이는 웨이퍼 보트의 크기와 모양이 극한 온도 변화에서 매우 안정적으로 유지 될 수 있음을 의미합니다. 이는 고온 공정의 열 응력으로 인해 웨이퍼가 변형 또는 균열을 방지하여 각 확산 공정의 정확성과 일관성을 보장하는 데 중요합니다.

● 고온 안정성

석영은 매우 높은 온도에서 구조적 무결성과 화학적 안정성을 유지할 수 있으며 연화되거나 변형되기 쉽지 않습니다. 이를 통해 석영 웨이퍼 보트는 반도체 확산 공정에서 섭씨 수천도의 가혹한 환경을 견딜 수있어 프로세스의 연속성과 신뢰성을 보장합니다.

● 우수한 단열재

석영은 우수한 전기 절연체입니다. 반도체 프로세스에서, 절연 특성은 불필요한 전하 축적 또는 ARC 방전을 효과적으로 방지하여 민감한 반도체 장치가 손상되지 않도록 보호하고 공정의 안전성을 보장 할 수 있습니다.

● 우수한 화학적 안정성 및 투명성

석영은 우수한 화학적 불활성을 가지며, 확산 용광로 또는 웨이퍼 표면의 물질에서 화학적 가스와 반응하기 쉽지 않아 불순물 오염을 피하고 생성물 순도를 보장합니다. 또한 광학 투명성은 특정 특정 모니터링 또는 광학 감지 프로세스에서 잠재적 인 이점이 있습니다.

응용 프로그램 ：

● LED 칩 제조

● 태양 전지 확산 및 도핑

● 반도체 IC 제작

● 배터리 및 다이오드 처리

● 열 산화 및 LPCVD 용광로

쿼츠 웨이퍼 보트를 선택하는 이유는 무엇입니까?

● 고순도 합성 석영에서 제작

● 2 인치 ~ 12 인치 웨이퍼의 맞춤형 크기

● 탁월한 치수 정밀도 및 부드러운 표면 마감

● 모든 주요 확산 용광로 시스템과 호환됩니다

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