에피 웨이퍼 홀더

Vetek Semiconductor는 맞춤형 제품 서비스를 지원하므로 Epi Wafer Holder는 크기에 따라 맞춤형 제품 서비스를 제공 할 수 있습니다.웨이퍼(100mm, 150mm, 200mm, 300mm 등). 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 바랍니다.

EPI WAFER 홀더의 기능 및 작업 원리

반도체 제조 영역에서, 에피 택시 공정은 고성능 반도체 장치를 제조하는 데 중요합니다. 이 과정의 핵심에는 EPI WAFER 홀더가 있으며,이 과정은 품질과 효율성을 보장하는 데 중심적인 역할을합니다.에피 택셜 성장.

EPI 웨이퍼 홀더는 주로 에피 택시 과정에서 웨이퍼를 단단히 유지하도록 설계되었습니다. 주요 작업은 정밀한 제어 온도 및 가스 흐름 환경에서 웨이퍼를 유지하는 것입니다. 이 세심한 제어는 웨이퍼 표면에 에피 택셜 재료를 균일하게 퇴적 할 수있게하며, 이는 균일하고 고품질의 반도체 층을 생성하는 중요한 단계입니다.

에피 택시 공정의 전형적인 고온 조건 하에서, EPI 웨이퍼 홀더는 그 기능이 뛰어납니다. 그것은 긁힘과 같은 잠재적 손상을 피하고 웨이퍼 표면의 입자 오염을 방지하는 동시에 반응 챔버 내의 웨이퍼를 단단히 고정합니다.

재료 특성 :왜실리콘 카바이드 (sic)빛납니다

EPI WAFER 홀더는 종종 유익한 특성의 고유 한 조합을 제공하는 재료 인 실리콘 카바이드 (SIC)로 제작됩니다. SIC의 열 팽창 계수는 약 4.0 x 10 ° /° C입니다. 이 특성은 고온에서 홀더의 치수 안정성을 유지하는 데 중추적입니다. 열 팽창을 최소화함으로써 온도 관련 크기 변화로 인해 발생할 수있는 웨이퍼의 응력을 효과적으로 방지합니다.

또한 SIC는 높은 온도 안정성을 자랑합니다. 에피 택시 과정에서 필요한 1,200 ° C ~ 1,600 ° C 범위의 고온을 완벽하게 견딜 수 있습니다. 탁월한 부식 저항과 훌륭한 열전도율 (보통 120-160 w/mk)과 함께 SIC는 에피 택셜 웨이퍼 홀더의 최적 선택으로 나타납니다.

에피 택셜 프로세스의 주요 기능

에피 택셜 프로세스에서 EPI 웨이퍼 홀더의 중요성은 과장 될 수 없습니다. 그것은 높은 온도 및 부식성 가스 환경 하에서 안정적인 캐리어로서 기능하여, 상피 성장 동안 웨이퍼가 영향을받지 않도록하고 에피 택셜 층의 균일 한 발달을 촉진시킨다.

1. wafer 고정 및 정확한 정렬높은 정밀 조작 된 EPI 웨이퍼 홀더는 웨이퍼를 반응 챔버의 기하학적 중심에 단단히 배치합니다. 이 배치는 웨이퍼 표면이 반응 가스 흐름과 이상적인 접촉각을 형성하도록 보장합니다. 정확한 정렬은 균일 한 에피 택셜 층 증착을 달성하는 데 필수적 일뿐 만 아니라 웨이퍼 위치 편차로 인한 응력 농도를 크게 감소시킵니다.

2. 균일 한 가열 및 열전대 제어SIC 재료의 우수한 열전도율을 활용하여 EPI 웨이퍼 홀더는 높은 온도 에피 택셜 환경에서 웨이퍼로의 효율적인 열 전달을 가능하게합니다. 동시에 난방 시스템의 온도 분포를 잘 제어합니다. 이 이중 메커니즘은 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 일관된 온도를 보장하여 과도한 온도 구배로 인한 열 응력을 효과적으로 제거합니다. 결과적으로, 웨이퍼 뒤틀림 및 균열과 같은 결함의 가능성은 상당히 최소화됩니다.

3. 입자 오염 제어 및 물질 순도고 순도 SIC 기판 및 CVD- 코팅 된 흑연 재료의 사용은 입자 오염 제어의 게임 - 체인저입니다. 이들 물질은 에피 택시 과정에서 입자의 생성 및 확산을 실질적으로 줄여서 에피 택셜 층의 성장을위한 깨끗한 환경을 제공한다. 인터페이스 결함을 줄임으로써 에피 택셜 층의 품질과 신뢰성을 향상시킵니다.

4. 실체 저항동안mocvd또는 LPCVD 공정, EPI 웨이퍼 홀더는 암모니아 및 트리메틸 갈륨과 같은 부식성 가스를 견뎌야합니다. SIC 재료의 탁월한 부식 저항은 홀더가 확장 된 서비스 수명을 가질 수 있도록하여 전체 생산 공정의 신뢰성을 보장합니다.

Vetek 반도체의 맞춤형 서비스

Vetek 반도체는 다양한 고객 요구를 충족시키기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 100mm, 150mm, 200mm, 300mm 등 다양한 웨이퍼 크기에 맞춰진 맞춤형 EPI 웨이퍼 홀더 서비스를 제공합니다. 우리의 전문가 팀은 요구 사항에 맞는 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대하며, 최고 반도체 솔루션을 제공합니다.

CVD SIC 필름 결정 구조의 SEM 데이터:

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성：

비교 반도체 에피 웨이퍼 홀더 생산 상점: