기술 및 솔루션

01-03 VETEK | CVD SiC 코팅 두께 균일성 및 입자 제어에 대한 주요 지표

재료를 선택한 후 도구 내 성능을 결정하는 것은 두께 균일성, 입자 수준 및 순도와 같은 정량화 가능한 지표입니다. 이 기사에서는 수용 및 사용에 있어 CVD SiC 코팅의 주요 품질 차원을 정리하여 "사양 일치"에서 "보고서 확인 및 위험 예측 가능"으로 이동하는 데 도움을 줍니다.

01-02 베텍 | 공정 조건에 따른 SiC 코팅, TaC 코팅, Solid SiC 선택 방법

이 기사에서는 온도, 분위기 및 공정 유형별로 CVD SiC 코팅, TaC 코팅 및 Solid SiC의 응용 범위와 일반적인 시나리오를 간략히 설명합니다. 이를 통해 에피택시 및 에칭 엔지니어는 선택 중에 공정 창을 신속하게 정렬하고 재료-상태 불일치로 인한 입자 및 수명 위험을 방지할 수 있습니다.

01-01 브티크 | 흑연 서셉터 호환성 및 1:1 맞춤형 교체 솔루션

Aixtron G10, Veeco, ASM 서셉터 및 예열 링에 대한 호환성 및 교체 솔루션입니다. 1:1 도면 기반 맞춤화, 표준 부품의 경우 빠른 배송, 맞춤식 부품의 경우 3~6주, 검사 보고서 및 샘플 평가를 지원합니다.

01 에피택시 및 에칭 공정에서 CVD SiC, TaC 및 Solid SiC의 성능 한계

올바른 CVD SiC, TaC 코팅 또는 Solid SiC를 선택하면 에피택시/에칭 라인의 입자 수준과 구성 요소 수명이 직접적으로 결정됩니다. 이 기사에서는 주요 장비 교체 솔루션 및 주요 지표와 일치하는 온도, 분위기 및 공정별 명확한 선택 경계를 제공하여 빠른 결정을 내리고 위험을 줄이는 데 도움을 줍니다.