솔리드 SIC 웨이퍼 캐리어

고체 SIC 웨이퍼 캐리어는 반도체 에피 택셜 공정의 고온, 고압 및 부식성 환경을 위해 제조 된 구성 요소이며, 고순도 요구 사항이 높은 다양한 웨이퍼 제조 공정에 적합합니다. 

솔리드 SIC 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼의 가장자리를 덮고 웨이퍼를 보호하고 정확하게 배치하여 고품질 에피 택셜 층의 성장을 보장합니다. SIC 재료는 우수한 열 안정성, 내식성 및 뛰어난 열전도율로 인해 액체 상 에피 택시 (LPE), 화학 기화 (CVD) 및 금속 유기 증기 증착 (MOCVD)과 같은 공정에서 널리 사용됩니다. Vetek 반도체의 견고한 SIC 웨이퍼 캐리어는 여러 가혹한 환경에서 검증되었으며 웨이퍼 에피 택셜 성장 공정의 안정성과 효율을 효과적으로 보장 할 수 있습니다.

솔리드 SIC 웨이퍼 캐리어제품 기능

● 초고 온도 안정성: 솔리드 SIC 웨이퍼 캐리어는 최대 1500 ° C의 온도에서 안정적으로 유지 될 수 있으며 변형 또는 균열이 발생하지 않습니다.

● 우수한 화학적 내식성: 고순도 실리콘 카바이드 물질을 사용하여 강산, 강한 알칼리 및 부식성 가스를 포함한 다양한 화학 물질의 부식에 저항하여 웨이퍼 캐리어의 서비스 수명을 연장 할 수 있습니다.

● 높은 열전도율: 고체 SIC 웨이퍼 캐리어는 우수한 열전도율을 가지며 공정 동안 열을 빠르고 균일하게 분산시켜 웨이퍼 온도의 안정성을 유지하고 에피 택셜 층의 균일 성과 품질을 향상시킬 수 있습니다.

● 낮은 입자 생성: SIC 재료는 자연적인 낮은 입자 생성 특성을 가지므로 오염 위험을 줄이고 고순도에 대한 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

기술 사양 :

왜 선택하십시오반도체솔리드 SIC 웨이퍼 기판 캐리어 링?

● 신뢰성: 최종 고객의 엄격한 테스트 및 실제 검증 후 극한 조건에서 장기적이고 안정적인 지원을 제공하고 프로세스 중단 위험을 줄일 수 있습니다.

● 고품질 재료: 최고 품질의 SIC 재료로 만들어진 각 솔리드 SIC 웨이퍼 캐리어가 업계의 높은 표준을 충족하도록합니다.

● 사용자 정의 서비스: 특정 프로세스 요구를 충족시키기 위해 여러 사양 및 기술 요구 사항의 사용자 정의를 지원합니다.

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