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실리콘 카바이드 에피 택시

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CVD SIC 흑연 실린더

CVD SIC 흑연 실린더

Vetek 반도체의 CVD SIC 흑연 실린더는 반도체 장비에 중추적이며, 고온 및 압력 설정으로 내부 부품을 보호하기 위해 원자로 내의 보호 방패 역할을합니다. 장비 무결성을 보존하여 화학 물질과 극한 열에 효과적으로 보호됩니다. 탁월한 마모와 부식 저항으로 도전적인 환경에서 수명과 안정성을 보장합니다. 이 커버를 사용하면 반도체 장치 성능을 향상시키고 수명을 연장하며 유지 보수 요구 사항과 손상 위험을 완화합니다.
CVD SIC 코팅 노즐

CVD SIC 코팅 노즐

CVD SiC 코팅 노즐은 반도체 제조 중 탄화규소 재료를 증착하기 위한 LPE SiC 에피택시 공정에 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 이러한 노즐은 일반적으로 열악한 처리 환경에서도 안정성을 보장하기 위해 고온 및 화학적으로 안정적인 탄화규소 소재로 만들어집니다. 균일한 증착을 위해 설계된 이 제품은 반도체 응용 분야에서 성장하는 에피택셜 층의 품질과 균일성을 제어하는 ​​데 중요한 역할을 합니다. 추가 문의를 환영합니다.
CVD SIC 코팅 보호기

CVD SIC 코팅 보호기

Vetek 반도체의 CVD SIC 코팅 보호자는 LPE SIC 에피 택시이며, "LPE"라는 용어는 일반적으로 저압 화학 증기 증착 (LPCVD)에서 저압 에피 택시 (LPE)를 나타냅니다. 반도체 제조에서 LPE는 단결정 박막을 재배하는 데 중요한 공정 기술이며, 종종 실리콘 에피 택셜 층 또는 기타 반도체 에피 택셜 층을 재배하는 데 사용됩니다.
SIC 코팅 된 받침대

SIC 코팅 된 받침대

Vetek 반도체는 CVD SIC 코팅, 흑연의 TAC 코팅 및 실리콘 카바이드 물질을 제조하는 데 전문적입니다. 우리는 SIC 코팅 된 받침대, 웨이퍼 캐리어, 웨이퍼 척, 웨이퍼 캐리어 트레이, 행성 디스크 등과 같은 OEM 및 ODM 제품을 제공합니다. 곧 당신에게서.
SiC 코팅 입구 링

SiC 코팅 입구 링

Vetek Semiconductor는 고객과 긴밀히 협력하여 특정 요구 사항에 맞는 SiC 코팅 입구 링용 맞춤형 디자인을 제작하는 데 탁월합니다. 이러한 SiC 코팅 입구 링은 CVD SiC 장비 및 실리콘 카바이드 에피택시와 같은 다양한 응용 분야를 위해 세심하게 설계되었습니다. 맞춤형 SiC 코팅 주입구 링 솔루션의 경우 주저하지 말고 Vetek Semiconductor에 문의하여 맞춤형 지원을 받으십시오.
예열 링

예열 링

예열 고리는 반도체 에피 택시 공정에서 웨이퍼를 예열하고 웨이퍼의 온도를보다 안정적이고 균일하게 만들기 위해 사용되며, 이는 에피 택시 층의 고품질 성장에 큰 의미가 있습니다. Vetek 반도체는이 제품의 순도를 엄격하게 제어하여 고온에서 불순물의 휘발을 방지합니다.

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.


Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.


Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs,  IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.


Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.


To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.


중국의 전문가 실리콘 카바이드 에피 택시 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 에피 택시을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.
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