반도체 석영 스크린

반도체 제조의 높은 지분 세계에서 정밀도와 순도가 가장 중요합니다. Veteksemicon의 반도체 석영 스크린은 MoCVD (Metal-Organic Chemical Vapor 증착) 장비의 중요한 구성 요소이며, 박막 성장 공정의 균일 성, 순도 및 전반적인 효율을 크게 향상시키기 위해 설계되었습니다.

ⅰ. 핵심 기능 : 완벽한 에피 택시에 대한 정밀 제어

우리의 석영 스크린은 MoCVD의 가장 어려운 측면을 해결하도록 세 심하게 설계되어 고품질 에피 택셜 층을 퇴적하기위한 최적의 조건을 보장합니다.

● 공기 흐름 규정 : 타의 추종을 불허하는 균일 성

석영 스크린은 반응 챔버 내에서 정확한 물리적 장벽으로 작용하여 반응성 가스의 흐름 경로 (예 : 금속-유기 공원 및 수 소화물)를 세 심하게 안내합니다. 이 지능형 설계는 난류 흐름을 최소화하고 기판 표면에 가스의 균질 한 분포를 보장합니다.

● 오염 분리 : 순수한 성장, 결함 감소

매우 청소 된 환경을 유지하는 것은 결함이없는 박막 성장에 필수적입니다. 우리의 석영 스크린은 입자 및 비 휘발성 퇴적물과 같은 반응 부산물이 기판 또는 샤워 헤드와 같은 중요한 구성 요소에 다시 떨어지는 것을 효과적으로 차단합니다. 고급 쿼츠에서 제작 된이 제품은 탁월한 화학적 불활성을 자랑하며 화면 자체가 오염의 원인이되지 않도록 보장합니다.

● 온도 관리 : 민감한 재료에 대한 안정적인 구배

온도 제어는 MoCVD에서 섬세한 춤입니다. 석영 스크린은 효율적인 열 장벽 역할을하여 반응 영역과 주변 구성 요소 사이의 열 전달을 최소화합니다. 이 기능은 안정적인 온도 구배를 유지하는 데 도움이되며, 이는 INP 및 ALN을 포함한 온도에 민감한 화합물 반도체의 성장에 절대적으로 필수적입니다.

ⅱ. 주요 응용 프로그램 시나리오 : MoCVD의 모든 단계 향상

Veteksemicon의 반도체 쿼츠 스크린의 다양성은 MoCVD 공정의 다양한 중요한 단계에서 확장되어 제조 라인에 실질적인 이점을 제공합니다.

● 기판 보호 : 교차 오염 제거

대량 생산에서 인접한 기판 사이의 교차 오염을 방지하는 것이 중요합니다. 우리의 석영 스크린은 특히 다중 웨이퍼 MoCVD 시스템에서 효과적이며, 보호 방패 역할을하여 각 기판이 전구체의 미확인 흐름을 수신하여 전체 배치의 무결성을 보호합니다.

● 샤워 헤드 보호 : 수명 연장, 가동 중지 시간 감소

샤워 헤드는 중요하지만 취약한 구성 요소입니다. 샤워 헤드 아래의 석영 스크린을 전략적으로 배치함으로써 반응물의 직접 증착을 샤워 헤드 구멍에 감소시킵니다. 이 혁신적인 보호는 샤워 헤드의 청소주기를 확장하여 유지 보수 비용을 크게 낮추고 귀중한 가동 중지 시간을 최소화합니다.

● 사전 반응 억제 : 원치 않는 입자 형성 방지

조기 가스상 반응은 원치 않는 입자의 형성으로 이어지고 필름 품질을 손상시킬 수 있습니다. Quartz 스크린을 사용하면 위치를 정확하게 조정할 수 있으므로 금속 유기 공급원과 수 소화물의 혼합 시간을 지연시킬 수 있습니다. 이것은 효과적으로 미리 반응 (예 : GAN 성장에서 TMGA 및 NH₃의 조기 반응)을 억제하여 더 깨끗하고 효율적인 증착 공정을 보장합니다.

ⅲ. 유지 보수 및 수명 : 가동 시간 및 ROI 최대화

석영 화면의 유지 보수 및 수명을 이해하는 것은 MOCVD 운영을 최적화하고 투자 수익을 극대화하는 데 중요합니다.

● 정기적 인 청소 : 피크 성능 복원

최적의 성능을 유지하려면 석영 스크린의 정기적 인 청소가 권장됩니다. 이것은 습식 방법 (예 : 아쿠아 레지아, 완충 산화물 에칭) 및 건식 방법 (예 : 플라즈마 세정)을 통해 달성 될 수있어 축적 된 퇴적물을 효과적으로 제거하고 스크린을 피크 작동 효율로 복원합니다.

● 수명 표시기 : 교체주기 최적화

반도체 쿼츠 스크린의 일반적인 대체주기는 50 ~ 100 성장 사이클입니다. 그러나 정확한 수명은 특정 프로세스의 공격성에 따라 달라질 수 있습니다. 예를 들어, Algan 성장과 관련된 프로세스는 표준 GAN 성장에 비해 석영 스크린에서 더 까다로운 경향이 있으며, 잠재적으로 교체 간격이 짧아집니다.

ⅳ. 산업 신청 사례 : 고급 제조에서 입증 된 성능

Veteksemicon의 반도체 쿼츠 스크린은 광범위한 최첨단 반도체 응용 프로그램에 성공적으로 배포되어 우수한 장치 특성을 달성하는 데 필수적인 역할을 보여줍니다.

● LED 생산 : 가벼운 방출 효율 향상

GAN 기반 LED의 제조에서 우리의 석영 스크린은 결함 밀도를 줄이고 파장 일관성을 크게 향상시키는 데 중요한 역할을합니다. 이는 더 높은 성능과보다 안정적인 LED 제품으로 직접 해석됩니다.

● 전력 전자 장치 : 신뢰성 및 효율성 향상

SIC 에피 택시의 경우, 석영 스크린은 탄소 입자 접착을 감소시키는 데 중요한 역할을하며, 이는 개선 된 파괴 전압 균일 성을 달성하는 데 중요합니다. 이것은 강력하고 효율적인 전력 전자 장치를 개발하는 데있어 핵심 요소입니다.

● 태양 광 분야 : 태양 전지 혁신을위한 정밀도

CIGS 박막 태양 전지를 준비 할 때 Quartz 스크린은 요소 비율에 대한 정확한 제어를 보장합니다. 이 세심한 제어는 차세대 태양 광 기술에서 고효율과 일관된 성능을 달성하는 데 기본입니다.