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반도체 제조에는 다양한 유형의 반도체 세라믹 부품 제품이 필요합니다. 이러한 제품은 해당 기능을 재생하기 위해 다른 특성으로 인해 다른 생산 시나리오에서 사용됩니다. 그것들은 반도체 처리 산업에서 없어서는 안될 제품입니다.

탄탈 룸 카바이드 (TAC)는 매우 높은 경도, 높은 융점 및 우수한 화학적 안정성으로 알려진 고성능 세라믹 재료입니다. 반도체, 항공 우주 및 극도의 열, 마모 및 부식 저항이 필요한 기타 산업에서 널리 사용됩니다. 이 기사는 반도체 제조에서 완제품의 구조, 물리적 특성 및 특정 용도를 자세히 분석합니다.

다공성 SIC 세라믹 플레이트는 반도체 제조 분야의 핵심 재료 중 하나입니다. 고유 한 구조와 우수한 물리적 특성으로 다공성 SIC 세라믹 디스크는 고온과 부식성 환경에서 대체 할 수없는 핵심 구성 요소가되었습니다. 이 기사에서는 물리적 특성, 응용 시나리오 및 선택 장점을 깊이 분석합니다.

석영 보트는 반도체 제조 공정에 사용되는 주요 하중 부유 구성 요소입니다. 주로 확산, 산화 및 어닐링과 같은 웨이퍼의 고온 가공에 사용됩니다. 우수한 열 안정성, 낮은 오염 특성 및 부식 저항은 반도체 산업에서 필수 물질이됩니다. 이 기사는 석영 보트의 재료, 물리적 특성, 분류, 응용 시나리오 및 PECVD 흑연 보트와의 차이에 대해 자세히 설명합니다.

PECVD 흑연 보트의 핵심 재료는 고순도 등방성 흑연 물질 (순도는 일반적으로 ≥99.999%)이며, 이는 전기 전도성, 열전도율 및 밀도를 갖는다. 일반적인 흑연 보트와 비교하여 PECVD 흑연 보트는 많은 물리적 및 화학적 특성 이점을 가지고 있으며 주로 반도체 및 태양 광 산업, 특히 PECVD 및 CVD 공정에서 사용됩니다.

MOCVD 흑연 트레이는 에피 택셜 프로세스에서 중요한 역할을합니다. 이 기사는 재료 특성 및 응용 시나리오의 관점에서 MoCVD 흑연 트레이의 선택에 대한 자세한 분석을합니다.