전기 융합 석영

전기 용융 석영은 고순도 사염화규소(SiCl₄)를 원료로 하고, 수소-산소 불꽃 용해 공정을 통해 정제됩니다. 전기 용융 석영은 내부에 기포가 없으며 성능과 안정성이 뛰어나 열악한 광학 및 반도체 환경에서도 장기간 안정적으로 사용할 수 있습니다. 현재 전기 융합 석영은 반도체 및 광학 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

반도체 분야

●  전기 용융 석영은 반도체 웨이퍼의 제조 및 가공에 중요한 역할을 하며 일반적으로 웨이퍼 홀더, 캐리어 및 확산관과 같은 부품으로 사용됩니다. 높은 온도 안정성과 내식성은 고온 및 가혹한 화학적 환경에서 재료의 순도와 안정성을 보장하며, 낮은 팽창 계수는 고온 가공 중에 치수 안정성을 보장합니다.

●  사진석판술 마스크. 반도체 제조에서 석영 도가니 세라믹은 포토리소그래피 마스크의 기판 재료로도 사용됩니다. 고순도와 탁월한 광학 투명성으로 인해 자외선 및 심자외선(DUV) 리소그래피 중에 정밀한 패턴 전사가 가능합니다.

● 가스 확산 튜브 및 반응 챔버. 전기 융합 석영으로 제조 된 확산 튜브 및 반응 챔버는 (CVD), 산화 및 확산과 같은 공정에 이상적인 재료입니다. 이 성분들은 고온에서 우수한 내식성을 가지며 반응성 가스와 반응하지 않으므로 불순물의 도입 및 제품 품질을 개선하지 않습니다.

광학 분야

●  고정밀 광학 부품. 전기 융합 석영은 종종 높은 투과율 및 균일 성으로 인해 렌즈, 프리즘 및 반사기와 같은 광학 성분을 제조하는 데 사용됩니다. 특히 높은 투과율 및 저 분산이 필요한 응용 분야에서.

●  UV 및 원자외선 광학 용도. 전기 융합 석영은 UV 및 깊은 UV 밴드에서 우수한 광학 투과율을 가지므로 UV 광학 시스템에 특히 적합합니다. 고순도와 낮은 불순물 함량은 UV 밴드의 광 흡수를 감소시켜 깊은 UV 광학 시스템에서 중요한 재료입니다.

● 레이저 광학 부품. 고 에너지 레이저 시스템에서 Quartz Crucible Ceramic은 종종 고 에너지 레이저 쇼크 및 낮은 비 형사성에 대한 저항으로 인해 레이저 창, 빔 스플리터 및 필터와 같은 구성 요소를 제조하는 데 사용됩니다. 고급 구조는 광 손실과 열 변형을 피하여 고출력 레이저 시스템에 이상적인 선택입니다.

VeTek Semiconductor는 전문 기술팀과 영업팀을 보유하고 있습니다. 전기 융합 석영 제품에 대한 문의를 환영합니다.

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