CVD SIC 코팅 강성 펠트

CVD SIC 코팅 강성 펠트는 흑연 강성 펠트의 표면에서 CVD SIC 코팅에 의해 얻어진 구성 요소이며, 이는 열 절연 층으로 작용합니다.CVD SIC 코팅고온 저항, 우수한 기계적 특성, 화학적 안정성, 우수한 열전도율, 전기 절연 및 우수한 산화 저항과 같은 우수한 특성을 갖습니다. 따라서 CVD SIC 코팅 강성 펠트는 강도와 고온 저항성이 우수하며 일반적으로 열 절연 및 에피 택셜 반응 챔버의지지에 사용됩니다.

고순도 흑연 강성 펠트 특성 ：

  ● 고온 저항: CVD SIC 코팅 강성 펠트는 재료의 유형에 따라 최대 1000 배 이상의 온도를 견딜 수 있습니다.

  ●  화학적 안정성: CVD SIC 코팅 강성 펠트는 에피 택셜 성장의 화학적 환경에서 안정적으로 유지되고 부식성 가스의 침식을 견딜 수 있습니다.

  ●  열 절연 성능: CVD SIC 코팅 강성 펠트는 우수한 열 분리 효과를 가지며 반응 챔버에서 열이 소산되는 것을 효과적으로 방지 할 수 있습니다.

  ●  기계적 강도: SIC 코팅 하드 펠트는 기계적 강도와 강성이 우수하므로 여전히 형상을 유지하고 고온에서 다른 구성 요소를 지원할 수 있습니다.

엄격한 흑연 펠트기능:

  ●  열 분리: CVD SIC 코팅 강성 펠트는 열 단열재를 제공합니다.sic epitaxial반응 챔버는 챔버에서 고온 환경을 유지하고 에피 택셜 성장의 안정성을 보장합니다.

  ●  구조적 지원: CVD SIC 코팅 강성 펠트는 지원을 제공합니다반달 부분고온 및 고압에서 가능한 변형 또는 손상을 방지하기위한 다른 구성 요소.

  ●  가스 흐름 제어: 반응 챔버에서 가스의 흐름과 분포를 제어하여 다른 영역에서 가스의 균일 성을 보장하여 에피 택셜 층의 품질을 향상시킵니다.

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그만큼 CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

CVD SIC 코팅 강성 펠트 상점 :