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4 인치 절연 강성 펠트 - 바디
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4 인치 절연 강성 펠트 - 바디

4 인치 절연 강성 펠트 - Vetek 반도체가 제공하는 바디는 고품질 탄소 섬유 재료로 만든 강성 단열재입니다. 단열 성능과 내구성이 뛰어납니다. 열, 소리 및 충격을 효과적으로 단열 할 수 있으며 다양한 응용 분야에 적합합니다. Vetek 반도체는 귀하와 장기적인 협력 관계를 구축하고 글로벌 시장에서 파트너가되기를 기대합니다.


전문적인 고품질 4 인치 단열성 강성 펠트 - 바디 제조업체로서 Vetek Semiconductor 's Factory에서 4 인치 단열성 강성 펠트 - 바디를 구입하도록 안심할 수 있습니다.

단열성 강성 펠트는 고온 극도의 환경을 위해 특별히 설계된 일종의 복합 절연 재료이며, 탄소 섬유 및 탄소 천 라미네이션 복합 공정의 사용은 고온 탄화/흑연화 처리 기술과 결합하여 초고 순도 (ASH ≤10ppm), 우수한 열 안정성 및 기계적 강도를 가지고 있습니다. 이 재료는 실리콘 카바이드 (SIC) 단합성 성장 용광로의 열 절연 시스템에 사용하도록 설계되어 PVT (Physical Vapor Transfer) 방법의 까다로운 열 필드 균일 성, 온도 그라디언트 및 불순물 제어 요구 사항을 충족시킵니다.


재료 및 프로세스 특성


복합 구조 design

표면 탄소 천 강화 : 특수한 공정을 통해 탄소 섬유 펠트 및 고밀도 탄소 천 복합재를 통해, 표면은 조밀 한 보호 층을 형성하고, 고온 공기 세척 및 섬유 흘림을 효과적으로 방지하고, 불순물의 방출을 줄입니다.

다층 통합 공정 : 코어 층은 탄소 섬유 펠트이며 흑연 종이 또는 탄소 천은 중간에 내장되어 있습니다. 2 차 고온 정제 (≥2000 ℃) 후, 재료 구조가 밀류되고 불순물이 깊게 제거된다.

매우 낮은 불순물 순도

애쉬 함량 ≤10ppm, 고온 환경에서 금속 이온, SIO₂ 및 기타 불순물 휘발이 없는지 확인하고, 결정 성장 계면을 오염시키지 않으며, 실리콘 카바이드 단결정 및 결함 제어 수준 19의 순도를 향상시킵니다.

프로세스 적응성

맞춤형 표면 처리 (예 : 흑연 포일 코팅, 항산화 코팅), 진공 또는 불활성 가스 (AR, NIT) 환경에 적합한 1200 ° C ~ 3000 ° C의 작동 온도.


핵심 성능 매개 변수


표시기 매개 변수 범위 특징
밀도
0.42 ~ 0.55 g/cm³
열전도율 (1500 ℃)
0.10-0.81 w/(m · k)
굽힘 강도
1.0 ~ 2.66MPA
압축 강도
0.91 ~ 3.2mpa
저항
1000 ~ 5000 Ω · mm²/m
최대 작동 온도 (진공)
≥3000 ℃


응용 분야 및 장점


실리콘 탄화물 단결정 용광로 핫 필드 절연

퍼니스 절연 층의 핵심 재료로서, 열 손실을 줄이고, 성장 계면 온도 구배 (ΔT≈20-50 ℃)를 유지하고 결정의 축/방사상 성장 속도가 균형을 유지할 수 있습니다.

소프트 펠트와 함께 구배 단열 구조를 형성하고 열 응력을 줄이며 열 필드의 수명을 연장합니다.


경쟁 우위

열 안정성 : 낮은 열 팽창 계수 (CTE <2 × 10/℃), 우수한 열 충격 저항, 반복 상승 및 냉각 조건에 적합합니다.

경제 : 전통적인 소프트 펠트와 비교할 때 서비스 수명은 3-5 배 증가하여 핫 필드 교체 및 생산 비용의 빈도를 줄입니다.

사용자 정의 : 실린더, 플레이트 및 기타 형태의 처리, 최대 ± 0.5mm의 치수 정확도, 다른 용광로 설계에 적합합니다.


일반적인 신청 사례

진공 고압 가스 담금질 용광로 : 열 차폐로서 에너지 소비를 20% 이상 줄이기

대형 SIC 결정 성장 : 8 인치 크리스탈 용광로의 경우 열 전계 균일성 편차 <1.5%





반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


반도체 생산 상점 비교 :

VeTek Semiconductor Production Shop


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