PZT 압전 웨이퍼(Si/SOI의 PZT)

1. 기술 아키텍처

당사의 웨이퍼는 복잡한 MEMS 처리 중에 최적의 접착력, 전도성 및 압전 반응을 보장하도록 설계된 정교한 다층 스택 구조를 갖추고 있습니다.

 ●상부 전극(키 레이어): Pt(플래티넘).

● 피에조 레이어(코어 레이어): PZT.

● 중간층: Buffer Layer, Bottom Electrode, Adhesion Layer를 포함하여 결정립 방향성 및 구조적 안정성을 최적화합니다.

● 기판: Si 또는 SOI 웨이퍼와 호환됩니다.

2. 품질보증 및 미세구조 분석

우리는 엄격한 기술적 특성 분석을 통해 높은 신뢰성을 보장합니다.

 ●SEM 분석: 주사전자현미경(SEM) 이미지는 균일한 입자 크기 분포를 지닌 조밀하고 균열이 없는 표면 형태를 보여주며, 신뢰성이 높은 MEMS 애플리케이션에 이상적입니다.

 ●XRD 특성화: X선 회절(XRD) 패턴은 강한(100) 우선 방향으로 순수한 페로브스카이트 상 형성을 확인하여 최대 압전 성능 계수를 보장합니다.

3. 기술사양(특성)

4. 핵심 애플리케이션

 ● 압전 미세 가공 초음파 변환기(pMUT): 지문 센서, 동작 인식, 자동차 초음파 레이더용 고주파 소형 어레이입니다.

 ● 커뮤니케이션: 더 넓은 대역폭과 더 낮은 삽입 손실을 달성하기 위해 5G/6G에서 FBAR 또는 SAW 필터를 제조하는 데 핵심입니다.

 ● 음향 MEMS: MEMS 스피커에 강력한 과도 응답을 제공하고 MEMS 마이크에 대한 신호 대 잡음비(SNR)를 향상시킵니다.

 ● 정밀 유체 제어: d31 모드를 통한 고속 진동으로 잉크젯 프린트헤드의 액적량을 나노리터 단위로 정밀하게 제어합니다.

 ● 메디컬&뷰티(마이크로 펌핑): 높은 신뢰성과 컴팩트한 사이즈로 의료용 분무기나 미용용 초음파 펌프를 구동합니다.

5. 맞춤 서비스

Si 웨이퍼의 표준 증착 외에도 맞춤형 증착 서비스도 제공합니다.

 ●필름 및 두께 맞춤화: 설계 요구 사항에 따라 특정 필름 유형 및 맞춤형 두께를 증착합니다.

 ●OEM 주조소: 고품질의 압전박막 성장을 위해 고객사로부터 공급받은 웨이퍼를 수용합니다.

 ●SOI 기판 지원: 다음 사양의 SOI 웨이퍼에 특수 증착됩니다.