고순도 석영 웨이퍼 보트

Vetek 반도체의 고순도 석영 웨이퍼 보트는 매우 높은 순도 석영으로 만들어졌으며, 이는 하이드 록실 함량이 낮고 순도 및 강한 고온 저항의 특성을 갖습니다. 이 재료는 또한 반도체 산업에서 확산 용광로 및 CVD 용광로 구성 요소의 재료로 널리 사용됩니다. 실리콘 웨이퍼를 운반하기위한 용기로서, 고순도 석영 보트 웨이퍼는 반도체, 태양 광, 화학 및 기타 필드에 사용되었습니다.

애플리케이션 시나리오

먼저 반도체 분야입니다. 웨이퍼의 열처리 공정은 열산화, 확산, 어닐링 등 매우 중요합니다. 열처리 공정을 통해 웨이퍼에 새로운 특성을 부여합니다.

배치 용광로 코어 튜브는 열 산화, 고온 확산, 어닐링 및 박막 증착과 같은 반도체 웨이퍼 처리 공정에 사용됩니다. 배치 가열 용광로는 주로 열처리를 완료하기 위해 코일에 의해 용광로 몸체를 가열하는 데 주로 사용됩니다. 다른 작업 구조에 따르면 배치 용광로 코어 튜브는 수평 용광로 및 수직 용광로로 나눌 수 있습니다.

(1) 수평 용광로의 고순도 석영 웨이퍼 보트는 수평으로 배치되므로 수평 용광로라고합니다.

열처리 공정에서, 웨이퍼는 고순도 석영 웨이퍼 보트에 로딩되어 천천히 석영 용광로 튜브로 전송되며, 웨이퍼는 가공을 위해 일정한 온도 영역에 배치됩니다. 공정이 완료되기를 기다린 후, 웨이퍼 사용 된 석영 보트는 천천히 석영 용광로에서 꺼내어 갑작스런 온도 변화로 인해 웨이퍼가 손상되지 않도록합니다. 수평 용광로는 웨이퍼 직경이 200mm 미만인 통합 회로의 확산 공정에서 널리 사용됩니다. 

수평 용광로의 장점은 간단한 과정, 웨이퍼 사이의 균일 성 및 동시에 여러 웨이퍼를 처리하는 능력입니다. 단점은 가열 속도, 장비 크기가 넓고 자동화의 어려움 및 웨이퍼를로드 및 언로드 할 때 외부 공기가 쉽게 들어가는 것입니다.

(2) 수직 용광로의 고순도 석영 웨이퍼 보트는 수직으로 배치되므로 수직 용광로라고합니다.

웨이퍼는 석영 타워에로드되고 가열을 위해 석영 용광로로 천천히 상승합니다. 가열 공정 동안, 고순도 석영 웨이퍼 보트는 천천히 회전하여 웨이퍼가 골고루 가열되도록합니다. 가공 후, 석영 타워는 웨이퍼 손상을 일으킬 수있는 온도 변화를 피하기 위해 천천히 내려갑니다. 수직 용광로는 주로 200mm 및 300mm 직경의 웨이퍼의 통합 회로 공정에서 사용됩니다. 수직 용광로의 핵심 기술은 고정밀 온도 전계 제어, 입자 제어, 미세 환경 미세 산소 제어 및 동력에 있습니다. 수직 용광로의 장점은 얇은 자연 산화물 층, 양호한 균일 성, 더 쉬운 자동화, 소형 장비 발자국 및 배치 처리입니다. 단점은 가열 속도가 느리다는 것입니다.

태양 광 분야에서, 태양 광 세포의 생산 공정은 석영 보트가 고온 확산 공정에서 실리콘 웨이퍼를 운반하고 운반해야한다. 고순도 질소, 산소 또는 인 확산 또는 붕소 확산과 같은 기타 불활성 가스 대기에서의 고온 처리는 태양 전지의 제조 공정에서 중요한 단계입니다. 목적은 실리콘 웨이퍼에 PN 접합을 형성하는 것입니다.

석영 보트 내부에는 실리콘 웨이퍼가 고온 확산 과정에서 정확한 위치를 유지하고 고르게 가열되도록 정밀하게 설계된 슬롯이 있습니다. 석영 소재는 고온 저항성과 화학적 안정성이 우수하기 때문에 실리콘 웨이퍼를 오염시키지 않아 생산 환경의 높은 청결도를 유지하는 데 도움이 됩니다.

중국 웨이퍼를 사용한 Quartz 보트 시장의 혁신가이자 리더로서, 반도체 산업이나 태양 광 산업에 종사하든 순결한 순도 석영 웨이퍼 보트가 필요한 한, 견적을 요청하십시오. 우리는 조정할 수 있습니다. 당신의 필요에 따라 당신을 위해.

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