고순도 쿼츠 확산 튜브

Veteksemicon의 고순도 쿼츠 확산 튜브는 고순도, 고열 저항성, 높은 부식성 및 낮은 팽창 계수의 특성을 갖습니다. 이러한 특성은 석영 확산 튜브가 변형 또는 손상없이 반도체 웨이퍼의 산화 어닐링 공정의 환경을 견딜 수 있도록합니다.

Vetek 반도체의 고순도 석영 튜브는 순도가 99.998%이상이므로 웨이퍼 준비 과정에서 웨이퍼의 오염이 없도록합니다.

반도체 산화 확산 공정에서 석영 확산 튜브의 적용

석영 확산 튜브의 우수한 열 성능은 산화 공정에서 매우 중요합니다. 확산 튜브는 열 산화 및 어닐링 중에 최대 1250 ° C의 온도를 견딜 수있어 부드러운 웨이퍼 가공을 보장 할 수 있습니다. 또한, 확산을위한 고순도 쿼츠 튜브의 절연 특성 및 높은 열 저항은 궁극적으로 웨이퍼 가격 처리의 일관성을 보장한다.

Veteksemicon의 고순도 쿼츠 확산 튜브는 웨이퍼 처리에 이상적입니다.

산화 외에도 어닐링은 반도체 웨이퍼 제조에서 또 다른 중요한 과정입니다. Veteksemicon의 고순도 쿼츠 튜브는 어닐링 공정에 필요한 열 안정성을 제공하여 웨이퍼가 골고루 어닐링 할 수 있습니다. 동시에, 고순도 쿼츠 확산 튜브의 우수한 열 충격 저항은 웨이퍼 어닐링 공정 동안 빠른 가열 및 냉각 사이클에서 안정성을 보장하여 어닐링 과정에서의 수명과 신뢰성이 보장되도록합니다.

위의 장점 외에도 Vetek High Overity Quartz 확산 튜브는 UV 투명도가 높습니다. UV 라이트를 통해 웨이퍼 처리 프로세스를 모니터링하고 검사하는 데 사용될 수 있으며, 따라서 최종 반도체 장치의 신뢰성을 향상시킵니다.

다른 반도체 프로세스의 실제 요구 사항은 다릅니다. 이러한 다양한 요구를 충족시키기 위해, 우리는 항상 고객에게 최종 사용자의 사용 시나리오 요구 사항을 충족시키기 위해 확산 제품을위한 고도로 사용자 정의 된 고순도 석영 튜브를 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리의 고객 사용자 정의 서비스에는 고순도 쿼츠 확산 튜브 자체의 다양한 구조, 다양한 플랜지 및 기타 구성이 포함됩니다. 

소규모 R & D이든 대규모 대량 생산이든, 우리는 유능합니다. 귀하의 문의를 기대하고 귀하와의 장기 파트너십을 수립합니다.