PECVD용 흑연 보트

애플리케이션: PECVD용 Veteksemicon 흑연 보트는 플라즈마 강화 화학 기상 증착 공정의 핵심 구성 요소입니다. 이 제품은 실리콘 웨이퍼, 화합물 반도체 및 디스플레이 패널 기판에 고품질 실리콘 질화물, 실리콘 산화물 및 기타 박막을 증착하기 위해 특별히 설계되었습니다. 그 성능은 필름 균일성, 공정 안정성 및 생산 비용을 직접적으로 결정합니다.

제공할 수 있는 서비스: 고객 응용 시나리오 분석, 자료 매칭, 기술 문제 해결.

회사 프로필：Veteksemicon에는 20년의 재료 경험과 R&D, 생산, 테스트 및 검증 능력을 갖춘 전문가 팀인 2개의 실험실이 있습니다.

일반 제품 정보

제품 비즈니스 용어

주요 응용 분야

PECVD 핵심 이점을 제공하는 Veteksemicon 흑연 보트

1. 고순도 기판으로 오염원을 제어합니다.

우리는 1600°C의 연속 작동 환경에서도 금속 불순물이 석출되지 않도록 99.995% 이상의 안정적인 순도를 갖는 등압 압축된 고순도 흑연을 기본 재료로 사용한다고 주장합니다. 이러한 엄격한 재료 요구 사항은 캐리어 오염으로 인한 웨이퍼 성능 저하를 직접적으로 방지할 수 있어 고품질 실리콘 질화물 또는 실리콘 산화물 필름을 증착하기 위한 가장 기본적인 보장을 제공합니다.

2. 공정 균일성을 보장하기 위한 정밀한 열장 및 구조 설계

광범위한 유체 시뮬레이션 및 프로세스 측정 데이터를 통해 보트의 슬롯 각도, 가이드 홈 깊이 및 가스 흐름 경로를 최적화했습니다. 이러한 세심한 구조적 고려로 인해 웨이퍼 사이에 반응성 가스가 균일하게 분포될 수 있습니다. 실제 측정에 따르면 전체 로드 시 동일한 배치의 웨이퍼 간 필름 두께의 균일성 편차가 ±1.5% 이내로 안정적으로 제어되어 제품 수율이 크게 향상되는 것으로 나타났습니다.

3. 특정 공정 부식을 해결하기 위한 맞춤형 코팅 솔루션

다양한 고객의 다양한 공정 가스 환경을 충족하기 위해 당사는 열분해 탄소와 탄화규소라는 두 가지 성숙한 코팅 옵션을 제공합니다. 질화규소를 주로 증착하고 수소세정을 사용하는 경우 치밀한 열분해 탄소 코팅은 수소 플라즈마 침식에 대한 탁월한 저항성을 제공할 수 있습니다. 귀하의 공정에 불소 함유 세정 가스가 포함되어 있다면 고경도 탄화규소 코팅이 더 나은 선택입니다. 부식성이 높은 환경에서 흑연 보트의 수명을 일반 비코팅 제품의 3배 이상으로 연장할 수 있습니다.

4. 열충격 안정성이 우수하여 빈번한 온도 사이클에 적응 가능

당사의 독특한 흑연 공식과 내부 강화 리브 설계 덕분에 당사의 흑연 보트는 PECVD 공정의 반복적인 급속 냉각 및 가열 충격을 견딜 수 있습니다. 엄격한 실험실 테스트에서 실온에서 800°C까지 500회의 급속 열 사이클 후에도 보트의 굴곡 강도 유지율은 여전히 ​​90%를 초과하여 열 응력으로 인한 균열을 효과적으로 방지하고 생산 연속성과 안전성을 보장했습니다.

5. 생태사슬 검증 승인

PECVD의 생태학적 사슬 검증을 위한 Veteksemicon Graphite 보트는 원자재부터 생산까지 포괄하며, 국제 표준 인증을 통과했으며, 반도체 및 신에너지 분야에서 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위한 다수의 특허 기술을 보유하고 있습니다.

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비에 대해서는 기술 지원 팀에 문의하여 Veteksemicon이 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있는 방법을 알아보세요.