융합된 불투명 석영

용융 불투명 석영은 주로 전기 융합으로 만들어지며, 고온 전기 가열을 사용하여 고순도 석영 모래를 녹여 불투명 특성을 지닌 미세 기포가 많은 석영 유리를 생성합니다. 전기융합석영은 내부에 다수의 작은 기포를 함유하고 있어 불투명하게 만들고 열을 반사하고 분산시키는 데 도움을 줍니다. 또한 높은 내열성, 낮은 열 전도성, 우수한 화학적 안정성 등을 갖추고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 용융 불투명 석영은 반도체 제조의 다양한 공정에 이상적인 재료 선택이 됩니다. 

현재 Opaque Quartz는 반도체 필드에 많은 주요 응용 프로그램이 있습니다.

●  확산 및 산화 공정의 용광로 튜브

융합 불투명 쿼츠는 확산 용광로 및 산화 용광로를위한 용광로 튜브 재료로 사용될 수 있습니다. 고온 저항, 열 충격 저항 및 우수한 화학적 안정성은 고온에서 안정적인 화학적 특성을 유지하여 오염이없는 환경을 제공하고 반도체 공정의 안정성과 일관성을 보장합니다.

● 마스크 플레이트 및 분리 재료

반도체 처리에서 융합 된 불투명 쿼츠는 마스크 플레이트 및 분리 재료로 사용될 수 있습니다. 불투명성과 저광 전이로 인해 불필요한 빛과 열을 효과적으로 차단하여 도핑 및 산화 확산 공정에서 생성 된 열 방사선이 다른 부품에 영향을 미치지 않도록합니다. 이것은 도핑을 정확하게 제어하고 민감한 영역을 보호하는 데 특히 중요합니다.

● 도가니 및 난방 후드

Fused Quartz 도가니는 반도체 웨이퍼 풀링 공정에서 우수한 고온 저항과 낮은 열전도율로 인해 고온 용융 실리콘을 유지하는 데 사용됩니다. 열전도율이 낮으면 열 손실을 줄이고 가열을 더욱 균일하게 하며 단결정 당김의 안정성을 보장할 수 있습니다. 용융된 불투명 석영 가열 후드는 단열을 위해 사용되어 열 손실을 방지하고 에너지 효율을 향상시킵니다.

●  화학 기상 증착(CVD)의 지지 재료

화학 증기 증착 공정 동안, 융합 불투명 쿼츠는 웨이퍼지지 재료로 사용된다. 낮은 열전도율과 고온 저항은 안정적인 온도 필드를 유지하고 과열 또는 불균일 한 가열을 방지하는 데 도움이됩니다. 화학적 불활성은 고온에서 반응성 가스와 반응하지 않도록하여 증착 된 층의 순도와 품질을 유지합니다.

● 열 차폐 및 단열 성분

반도체 제조 장비는 종종 고온에서 지속적으로 작동해야하며, 융합 불투명 쿼츠의 열전도성이 낮고 열 충격 저항은 이상적인 열 차폐 및 절연 성분으로 만듭니다. 융합 불투명 쿼츠를 열 차폐 물질로 사용하면 에너지 손실을 효과적으로 줄이고 장비의 열이 다른 지역으로 전달되는 것을 방지하여 정밀 부품을 보호 할 수 있습니다.

●  에칭 및 세척 장비의 보호 재료

용융 불투명 석영은 매우 강한 산 및 알칼리 저항성을 갖고 있어 부식성 화학물질이 장비를 손상시키는 것을 방지하기 위해 반도체 식각 및 세척 장비의 보호 재료로 사용됩니다. 또한 화학적 불활성 덕분에 가혹한 화학적 환경에서도 안정성을 유지하고 장비의 서비스 수명을 연장할 수 있습니다.

● 포토 리소그래피 마스크 재료

융합된 불투명 석영의 불투명 특성은 특정 포토리소그래피 공정에서 마스크 재료로 사용되어 노출 영역을 정확하게 제어하고 과도한 빛이 웨이퍼의 민감한 영역에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있습니다.

융합 불투명 한 석영의 이러한 특성은 고정밀 및 고온 공정의 핵심 재료입니다. 반도체 장치 및 프로세스의 지속적인 개발로 융합 된 불투명 쿼츠는보다 엄격한 프로세스 요구 사항을 충족시키기 위해 차세대 제조 기술에서 중요한 역할을 계속할 것입니다.

중국의 전문 융합 불투명 쿼츠 공급 업체 및 제조업체 인 Vetek Semiconductor는 고객에게 고품질 융합 불투명 쿼츠를 기꺼이 제공 할 수 있으며 귀하의 문의를 기대합니다. 우리는 진심으로 중국에서 당신의 장기 파트너가되기를 바랍니다.

VeTek Semiconductor 용융 불투명 석영 물리적 특성

그림 a. 융합 불투명 쿼츠의 투과                                                           그림b. 융합된 불투명 석영의 반사율

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