CVD SiC 코팅 흑연 부품 세척 서비스

1. 직면할 수 있는 과제

• 제거하기 어려운 AlN 층:1300°C 열 세척은 여전히 ​​잔여 AlN 층을 효과적으로 에칭할 수 없습니다.

• 반복 기억 효과:표면 기억 효과는 반응기 내 가스 흐름을 불안정하게 만들어 공정 일관성에 영향을 미칩니다.

• 청소주기 임팩트TS 처리량:일반적으로 16개의 프로세스 주기(4~5개의 서셉터)마다 외부 청소가 필요합니다.

• 값비싼 코팅 손상에 대한 우려:사내 화학 세척 경험이 부족하여 작업자는 적극적인 세척 시도를 주저하게 됩니다.

2. 우리의 솔루션 - GaN / AlN / AlGaN 공정용으로 설계됨

• 전문적인 청소:CVD SiC 코팅 흑연 부품용으로 특별히 개발된 맞춤형 프로세스입니다. 고객에게 화학 공식이 필요하지 않습니다.

• 코팅 안전성:100μm CVD SiC 코팅을 엄격하게 보호합니다. 세척 후 두께 손실이 전혀 없습니다.

• 검증 가능한 결과:5가지 핵심 차원을 다루는 전체 COA(분석 인증서)입니다. 보관 및 품질 감사를 위한 데이터 준비가 완료되었습니다.

3. 5가지 핵심 수용 기준

반도체 에피택시 사용자의 중요한 요구 사항을 엄격히 준수합니다.

1. 코팅 손실 제로– 세정 후에도 SiC 코팅 두께가 절대 줄어들지 않습니다(전/후 두께 비교 검증).

2. 표면 변형 없음– 평면도 및 기하학적 정확성을 엄격하게 검사하여 물리적인 변형이 발생하지 않도록 합니다.

3. 메모리 효과 제거– Al/Ga 잔류물에 대한 XPS 분석을 통해 메모리 효과 원인의 철저한 제거를 확인합니다.

4. 금속 잔류물 제로– Fe, Cu, Ni 및 기타 금속에 ​​대한 ICP-MS 테스트를 통해 잔류 금속 불순물이 전혀 없음을 확인합니다.

5. 과잉 입자 없음– QIII 입자 ​​테스트와 청정도 검증을 통해 잔류 입자로 인한 가스 흐름 불안정성을 방지합니다.

4. 배송 검사 및 COA 보고서

모든 배치는 5가지 핵심 차원에 걸쳐 완전한 검증 데이터와 함께 제공됩니다.

5. 적용 제품 및 공정 배경

제품 매개변수

서비스 프로세스

1. 문의– 평가를 위해 부품 사진/모델/수량을 보냅니다.

2. 인용– 견적을 포함한 기술 평가 및 세부 청소 제안.

3. 배송– 부품을 당사로 배송하거나 픽업 서비스를 예약하세요.

4. 청소– 전문적인 청소 + 전체 다차원 검사.

5. 신고– COA 보고서가 발행되고 청소된 부품이 반환됩니다.

6. 후속 조치– 효과 추적 및 지속적인 기술 지원.

6. VETEK 청소 서비스를 선택하는 이유는 무엇입니까?

VETEK은 CVD SiC 코팅 기술에 대한 심층적인 전문 지식과 고가의 흑연 서셉터를 위한 특수 세척 기능을 결합합니다. 우리는 GaN/AlN 에피택시에서 코팅 무결성, 입자 제어 및 공정 순도의 중요성을 이해하고 있습니다. 당사의 서비스는 메모리 효과 및 가스 흐름 불안정성 문제를 완전히 해결하면서 고가의 CVD SiC 코팅에 대한 절대적인 안전성을 요구하는 고객을 위해 설계되었습니다.

· 소량검증이 가능한 시험세정 가능

· 모든 배송 시 전체 COA 보고서 제공

· 코팅 손상이나 새로운 오염 위험이 없습니다.

· 전문적 · 안전함 · 검증 가능