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탄탄한 실리콘 카바이드의 사용20 2024-06

탄탄한 실리콘 카바이드의 사용

SIC (Solid Silicon Carbide)는 고유 한 물리적 특성으로 인해 반도체 제조의 주요 재료 중 하나가되었습니다. 다음은 물리적 특성 및 반도체 장비 (예 : 웨이퍼 캐리어, 샤워 헤드, 에칭 포커스 링 등)에 따른 장단점에 대한 분석입니다.
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