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실리콘 카바이드 에피 택시의 재료

실리콘 카바이드는 전력 및 고온 응용 분야의 반도체 산업을 에피 탁스 기판에서 보호 코팅, 전기 자동차 및 재생 가능 에너지 시스템에 이르기까지 포괄적 인 특성으로 재구성하고 있습니다.

고순도: 화학 기상 증착(CVD)으로 성장한 실리콘 에피택셜 층은 기존 웨이퍼보다 순도가 매우 높고 표면 평탄도가 더 좋으며 결함 밀도가 더 낮습니다.

SIC (Solid Silicon Carbide)는 고유 한 물리적 특성으로 인해 반도체 제조의 주요 재료 중 하나가되었습니다. 다음은 물리적 특성 및 반도체 장비 (예 : 웨이퍼 캐리어, 샤워 헤드, 에칭 포커스 링 등)에 따른 장단점에 대한 분석입니다.

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