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SiC 코팅 가장자리 황변 현상을 해결하여 CVD 수율을 50%에서 90%로 향상

MOCVD 에피택시 흑연 서셉터의 탄화규소 코팅 가장자리 황변 및 박리 원인에 대한 심층 분석. VeTek은 초기 CVD 증착 속도와 유동장을 정밀하게 제어하여 미세 응력을 제거하고 코팅 수율을 50%에서 90%로 높이고 고순도 흑연 부품의 수명을 연장했습니다.

VeTek Semi는 다중 포켓 실리콘 에피택시 흑연 서셉터의 1.4% 포켓 간 두께 변화를 해결하여 서셉터 평탄도를 0.08mm 미만으로 개선하고 CVD 유동장 시뮬레이션 및 초정밀 SiC 코팅을 통해 변화를 0.69%로 줄여 웨이퍼 수율을 높였습니다.

Vetek이 대형 MOCVD SiC 코팅 흑연 서셉터에서 방사상 균열을 어떻게 제거했는지 알아보세요. 구조적 응력 버퍼 재설계 및 CTE 매칭으로 서비스 수명이 300% 이상 증가했습니다.

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