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반도체 제조의 높은 지분 세계에서 정밀도와 안정성은 모든 것입니다. 여기서 정전기 척 (ESC)이 시작되는 곳입니다. ESC는 단순한 보유 도구보다 훨씬 더 많은 정전기 힘을 사용하여 에칭, 퇴적 및 이온 임플란트 화와 같은 중요한 과정에서 웨이퍼를 단단히 클램핑합니다. 그러나 실제로 어떻게 작동합니까? 전통적인 기계식 클램핑보다 우수한 이유는 무엇입니까? 그리고 나노 스케일 정확도와 처리량 효율성을 달성하는 데 어떤 역할을합니까? 읽기에 오신 것을 환영합니다.

정전기 척의 DeChuck 원리는 정전기 힘 제거 및 웨이퍼 방출 메커니즘을 포함하는 워크 플로의 핵심 부분입니다.

유리 탄소는 유리와 도자기의 특성을 결합한 비 그래피 탄소입니다. 이 블로그는 고온 저항, 부식 저항, 우수한 전기 전도도 등과 같은 많은 속성을 가지고 있습니다.

반도체 제조에는 다양한 유형의 반도체 세라믹 부품 제품이 필요합니다. 이러한 제품은 해당 기능을 재생하기 위해 다른 특성으로 인해 다른 생산 시나리오에서 사용됩니다. 그것들은 반도체 처리 산업에서 없어서는 안될 제품입니다.