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반도체 제조의 높은 지분 세계에서 정밀도와 안정성은 모든 것입니다. 여기서 정전기 척 (ESC)이 시작되는 곳입니다. ESC는 단순한 보유 도구보다 훨씬 더 많은 정전기 힘을 사용하여 에칭, 퇴적 및 이온 임플란트 화와 같은 중요한 과정에서 웨이퍼를 단단히 클램핑합니다. 그러나 실제로 어떻게 작동합니까? 전통적인 기계식 클램핑보다 우수한 이유는 무엇입니까? 그리고 나노 스케일 정확도와 처리량 효율성을 달성하는 데 어떤 역할을합니까? 읽기에 오신 것을 환영합니다.

정전기 척의 DeChuck 원리는 정전기 힘 제거 및 웨이퍼 방출 메커니즘을 포함하는 워크 플로의 핵심 부분입니다.

유리 탄소는 유리와 도자기의 특성을 결합한 비 그래피 탄소입니다. 이 블로그는 고온 저항, 부식 저항, 우수한 전기 전도도 등과 같은 많은 속성을 가지고 있습니다.

반도체 제조에는 다양한 유형의 반도체 세라믹 부품 제품이 필요합니다. 이러한 제품은 해당 기능을 재생하기 위해 다른 특성으로 인해 다른 생산 시나리오에서 사용됩니다. 그것들은 반도체 처리 산업에서 없어서는 안될 제품입니다.

탄탈 룸 카바이드 (TAC)는 매우 높은 경도, 높은 융점 및 우수한 화학적 안정성으로 알려진 고성능 세라믹 재료입니다. 반도체, 항공 우주 및 극도의 열, 마모 및 부식 저항이 필요한 기타 산업에서 널리 사용됩니다. 이 기사는 반도체 제조에서 완제품의 구조, 물리적 특성 및 특정 용도를 자세히 분석합니다.

다공성 SIC 세라믹 플레이트는 반도체 제조 분야의 핵심 재료 중 하나입니다. 고유 한 구조와 우수한 물리적 특성으로 다공성 SIC 세라믹 디스크는 고온과 부식성 환경에서 대체 할 수없는 핵심 구성 요소가되었습니다. 이 기사에서는 물리적 특성, 응용 시나리오 및 선택 장점을 깊이 분석합니다.