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석영 장치는 태양 전지 제조에 중요한 역할을하며, 고온 공정에 필요한 탁월한 열 저항, 화학적 순도 및 구조적 안정성을 제공합니다. 석영 확산 튜브 및 도가니에서 석영 보트 및 용광로 구성 요소에 이르기까지,이 고급 재료는 확산, CVD 및 습식 에칭 단계에서 최적의 효율을 달성하는 데 필수적입니다.

TAC 코팅은 흑연 도가니와 SIC 용융물 사이의 직접 접촉을 분리하여 탄소 캡슐화 현상을 거의 완전히 제거하여 마이크로 튜브의 결함 밀도를 크게 감소시킵니다.

SIC 세라믹

반도체 제조의 높은 지분 세계에서 정밀도와 안정성은 모든 것입니다. 여기서 정전기 척 (ESC)이 시작되는 곳입니다. ESC는 단순한 보유 도구보다 훨씬 더 많은 정전기 힘을 사용하여 에칭, 퇴적 및 이온 임플란트 화와 같은 중요한 과정에서 웨이퍼를 단단히 클램핑합니다. 그러나 실제로 어떻게 작동합니까? 전통적인 기계식 클램핑보다 우수한 이유는 무엇입니까? 그리고 나노 스케일 정확도와 처리량 효율성을 달성하는 데 어떤 역할을합니까? 읽기에 오신 것을 환영합니다.

정전기 척의 DeChuck 원리는 정전기 힘 제거 및 웨이퍼 방출 메커니즘을 포함하는 워크 플로의 핵심 부분입니다.

유리 탄소는 유리와 도자기의 특성을 결합한 비 그래피 탄소입니다. 이 블로그는 고온 저항, 부식 저항, 우수한 전기 전도도 등과 같은 많은 속성을 가지고 있습니다.