고순도 석영욕조

 일반 제품 정보

애플리케이션:베텍셈 고순도 석영조는 반도체 습식 공정의 핵심 용기로, 고온, 강산에 견딜 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 고순도 석영 소재는 금속 오염을 완전히 제거하고 1000°C를 초과하는 열충격을 견디며 대부분의 산과 염기로 인한 장기적인 부식을 방지합니다. 칩 제조, 태양전지, LED 등 분야의 세정 및 식각 공정에 널리 사용되며, 공정 순도와 제품 수율을 보장하는 초석입니다.

제공 가능한 서비스:고객 응용 시나리오 분석, 자료 매칭, 기술 문제 해결.

회사 소개:Semixlab에는 20년의 재료 경험과 R&D 및 생산, 테스트 및 검증 기능을 갖춘 전문가 팀인 2개의 실험실이 있습니다.

기술적인 매개변수

매우 순수한 소재

우리는 아크 용해를 사용하여 99.99%를 초과하는 SiO2 함량이 지속적으로 높은 고순도 합성 석영 유리를 생산합니다. 이 소재의 핵심 장점은 알칼리 금속(예: 칼륨, 나트륨)과 중금속(예: 철, 구리)의 배경 수준이 매우 낮다는 것입니다. 이는 고온 산성조에서 발생할 수 있는 표면 침전 및 오염을 효과적으로 제거하여 중요한 세척 단계에서 미량 불순물로부터 웨이퍼를 보호하고 장치의 전기적 성능의 신뢰성을 보장합니다.

우수한 열충격 저항

합성 석영 유리의 열팽창 계수가 극히 낮고 고유한 스텝 어닐링 공정이 결합되어 내부 응력이 완전히 제거됩니다. 이를 통해 조는 실온에서 1100°C까지 반복적이고 급격한 작동 온도 변화를 안정적으로 견딜 수 있으며, 열 스트레스의 갑작스러운 증가로 인한 균열이나 숨겨진 손상을 효과적으로 방지하고 우발적인 욕조 파손으로 인한 생산 중단 및 웨이퍼 손실 위험을 크게 줄입니다.

본질적인 내식성

고순도 석영은 불화수소산과 뜨거운 인산을 제외한 대부분의 강산(농황산, 질산, 염산, 왕수 등)에 대해 탁월한 화학적 불활성을 나타냅니다. 고온의 산용액에 장기간 담가두어도 안정된 화학구조와 표면상태를 유지하여 타 소재에 비해 내식성이 월등히 우수합니다. 이를 통해 제품 수명이 크게 연장되고 빈번한 교체와 관련된 전체 운영 비용이 절감됩니다.

정밀 표면 처리

모든 내부 표면, 모서리 및 용접부는 엄격한 화염 연마를 거칩니다. 이 공정은 미세 균열과 날카로운 모서리를 제거할 뿐만 아니라 부드럽고 조밀하며 화학적으로 불활성인 표면층을 생성합니다. 이 표면은 화학 잔류물과 미립자 물질 흡수를 효과적으로 줄여 탱크 간 신속하고 철저한 청소를 크게 촉진하고 배치 간 교차 오염 위험을 근본적으로 줄입니다.

생태 사슬 검증 승인

베텍세미 고순도 석영욕'의 생태연쇄 검증은 원료부터 생산까지, 국제표준 인증을 통과했으며, 반도체 및 신에너지 분야에서 신뢰성과 지속가능성을 확보하기 위한 다수의 특허기술을 보유하고 있다.

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비에 대해서는 기술 지원 팀에 문의하여 Veteksemi가 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있는 방법을 알아보십시오.