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SIC 세라믹

반도체 제조의 높은 지분 세계에서 정밀도와 안정성은 모든 것입니다. 여기서 정전기 척 (ESC)이 시작되는 곳입니다. ESC는 단순한 보유 도구보다 훨씬 더 많은 정전기 힘을 사용하여 에칭, 퇴적 및 이온 임플란트 화와 같은 중요한 과정에서 웨이퍼를 단단히 클램핑합니다. 그러나 실제로 어떻게 작동합니까? 전통적인 기계식 클램핑보다 우수한 이유는 무엇입니까? 그리고 나노 스케일 정확도와 처리량 효율성을 달성하는 데 어떤 역할을합니까? 읽기에 오신 것을 환영합니다.

정전기 척의 DeChuck 원리는 정전기 힘 제거 및 웨이퍼 방출 메커니즘을 포함하는 워크 플로의 핵심 부분입니다.

유리 탄소는 유리와 도자기의 특성을 결합한 비 그래피 탄소입니다. 이 블로그는 고온 저항, 부식 저항, 우수한 전기 전도도 등과 같은 많은 속성을 가지고 있습니다.