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4인치에서 8인치로: SiC 반도체 성장의 10년

초기 4인치 상용화 과제부터 오늘날의 8인치 웨이퍼 전환까지 10년간의 SiC 진화. CVD SiC 코팅, Solid SiC 및 TaC 재료가 어떻게 안정적인 반도체 제조를 가능하게 하는지 알아보세요.

CVD SiC 코팅 흑연 서셉터가 SiC, GaN, LED 및 실리콘 반도체 제조에서 열 균일성을 개선하고, 오염을 줄이고, 부품 수명을 연장하여 에피택셜 성장을 향상시키는 방법을 알아보세요.

TaC 코팅 흑연 히터가 어떻게 기존 pBN 코팅 히터와 비교하여 GaN MOCVD 에피택시에서 온도 균일성을 향상시키고 에너지 소비를 줄이며 서비스 수명을 연장하는지 알아보세요.

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