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MOCVD SiC 코팅 흑연 서셉터 균열 분석 및 열 응력 최적화 사례 연구

Vetek이 대형 MOCVD SiC 코팅 흑연 서셉터에서 방사상 균열을 어떻게 제거했는지 알아보세요. 구조적 응력 버퍼 재설계 및 CTE 매칭으로 서비스 수명이 300% 이상 증가했습니다.

초기 4인치 상용화 과제부터 오늘날의 8인치 웨이퍼 전환까지 10년간의 SiC 진화. CVD SiC 코팅, Solid SiC 및 TaC 재료가 어떻게 안정적인 반도체 제조를 가능하게 하는지 알아보세요.

CVD SiC 코팅 흑연 서셉터가 SiC, GaN, LED 및 실리콘 반도체 제조에서 열 균일성을 개선하고, 오염을 줄이고, 부품 수명을 연장하여 에피택셜 성장을 향상시키는 방법을 알아보세요.

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