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Alumina Ceramics는 세라믹 구성 요소를 제조하기위한 "작업"입니다. 그들은 우수한 기계적 특성, 초고 융점 및 경도, 부식성, 강한 화학적 안정성, 높은 저항력 및 우수한 전기 단열재를 나타냅니다. 그들은 일반적으로 연마판, 진공 척, 세라믹 암 및 유사한 부분을 제조하는 데 사용됩니다.

반도체 재료는 연대순으로 3 세대로 분류 될 수 있습니다. 1 세대는 게르마늄 및 실리콘과 같은 일반적인 원소 재료로 구성되며, 편리한 스위칭을 특징으로하며 일반적으로 통합 회로에 사용됩니다. 갈륨 비 세나이드 및 인듐 인간과 같은 2 세대 화합물 반도체는 주로 발광 및 통신 재료에 사용됩니다.

석영 장치는 태양 전지 제조에 중요한 역할을하며, 고온 공정에 필요한 탁월한 열 저항, 화학적 순도 및 구조적 안정성을 제공합니다. 석영 확산 튜브 및 도가니에서 석영 보트 및 용광로 구성 요소에 이르기까지,이 고급 재료는 확산, CVD 및 습식 에칭 단계에서 최적의 효율을 달성하는 데 필수적입니다.

TAC 코팅은 흑연 도가니와 SIC 용융물 사이의 직접 접촉을 분리하여 탄소 캡슐화 현상을 거의 완전히 제거하여 마이크로 튜브의 결함 밀도를 크게 감소시킵니다.

SIC 세라믹

반도체 제조의 높은 지분 세계에서 정밀도와 안정성은 모든 것입니다. 여기서 정전기 척 (ESC)이 시작되는 곳입니다. ESC는 단순한 보유 도구보다 훨씬 더 많은 정전기 힘을 사용하여 에칭, 퇴적 및 이온 임플란트 화와 같은 중요한 과정에서 웨이퍼를 단단히 클램핑합니다. 그러나 실제로 어떻게 작동합니까? 전통적인 기계식 클램핑보다 우수한 이유는 무엇입니까? 그리고 나노 스케일 정확도와 처리량 효율성을 달성하는 데 어떤 역할을합니까? 읽기에 오신 것을 환영합니다.

정전기 척의 DeChuck 원리는 정전기 힘 제거 및 웨이퍼 방출 메커니즘을 포함하는 워크 플로의 핵심 부분입니다.

유리 탄소는 유리와 도자기의 특성을 결합한 비 그래피 탄소입니다. 이 블로그는 고온 저항, 부식 저항, 우수한 전기 전도도 등과 같은 많은 속성을 가지고 있습니다.

반도체 제조에는 다양한 유형의 반도체 세라믹 부품 제품이 필요합니다. 이러한 제품은 해당 기능을 재생하기 위해 다른 특성으로 인해 다른 생산 시나리오에서 사용됩니다. 그것들은 반도체 처리 산업에서 없어서는 안될 제품입니다.

탄탈 룸 카바이드 (TAC)는 매우 높은 경도, 높은 융점 및 우수한 화학적 안정성으로 알려진 고성능 세라믹 재료입니다. 반도체, 항공 우주 및 극도의 열, 마모 및 부식 저항이 필요한 기타 산업에서 널리 사용됩니다. 이 기사는 반도체 제조에서 완제품의 구조, 물리적 특성 및 특정 용도를 자세히 분석합니다.

다공성 SIC 세라믹 플레이트는 반도체 제조 분야의 핵심 재료 중 하나입니다. 고유 한 구조와 우수한 물리적 특성으로 다공성 SIC 세라믹 디스크는 고온과 부식성 환경에서 대체 할 수없는 핵심 구성 요소가되었습니다. 이 기사에서는 물리적 특성, 응용 시나리오 및 선택 장점을 깊이 분석합니다.

석영 보트는 반도체 제조 공정에 사용되는 주요 하중 부유 구성 요소입니다. 주로 확산, 산화 및 어닐링과 같은 웨이퍼의 고온 가공에 사용됩니다. 우수한 열 안정성, 낮은 오염 특성 및 부식 저항은 반도체 산업에서 필수 물질이됩니다. 이 기사는 석영 보트의 재료, 물리적 특성, 분류, 응용 시나리오 및 PECVD 흑연 보트와의 차이에 대해 자세히 설명합니다.

PECVD 흑연 보트의 핵심 재료는 고순도 등방성 흑연 물질 (순도는 일반적으로 ≥99.999%)이며, 이는 전기 전도성, 열전도율 및 밀도를 갖는다. 일반적인 흑연 보트와 비교하여 PECVD 흑연 보트는 많은 물리적 및 화학적 특성 이점을 가지고 있으며 주로 반도체 및 태양 광 산업, 특히 PECVD 및 CVD 공정에서 사용됩니다.

MOCVD 흑연 트레이는 에피 택셜 프로세스에서 중요한 역할을합니다. 이 기사는 재료 특성 및 응용 시나리오의 관점에서 MoCVD 흑연 트레이의 선택에 대한 자세한 분석을합니다.

흑연 재료에는 광범위한 응용 시나리오가 있습니다. 그중에서도 등방성 흑연과 규산화 된 흑연은 두 가지 주요 유형의 흑연 물질이며, 특성, 응용 시나리오 및 장점은 크게 다릅니다. 이 블로그는 구조적 특성, 응용 시나리오 및 제품 장점의 세 가지 측면에서 비교 분석을 수행합니다.

일반적으로 SIC 세라믹으로 알려진 실리콘 카바이드 세라믹은 독특한 특성과 다양한 산업 분야의 광범위한 응용 프로그램을 갖춘 다목적 재료입니다. 다음은 재료 구성, 물리적 특성, 특정 응용 분야 및 반도체 코팅 공정의 장점 및 처리 중에 발생하는 일반적인 문제에 대한 자세한 설명입니다.