SIC 단결정 성장 공정 예비 부품

Veteksemicon의 제품탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅SIC 단결정 성장 공정을위한 제품은 실리콘 카바이드 (SIC) 결정의 성장 인터페이스, 특히 결정의 가장자리에서 발생하는 포괄적 인 결함과 관련된 문제를 해결합니다. TAC 코팅을 적용함으로써, 우리는 크리스탈 성장 품질을 향상시키고 크리스탈 센터의 효과적인 영역을 증가시키는 것을 목표로하며, 이는 빠르고 두꺼운 성장을 달성하는 데 중요합니다.

TAC 코팅은 고품질의 성장을위한 핵심 기술 솔루션입니다.sic 단결정 성장 과정. 우리는 화학 증기 증착 (CVD)을 사용하여 TAC 코팅 기술을 성공적으로 개발했으며, 이는 국제적으로 고급 수준에 도달했습니다. TAC는 최대 3880 ° C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열 충격 저항을 포함하여 탁월한 특성을 가지고 있습니다. 또한 암모니아, 수소 및 실리콘 함유 증기와 같은 고온 및 물질에 노출 될 때 우수한 화학적 불활성 및 열 안정성을 나타냅니다.

Vekekemicon 's탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅SIC 단결정 성장 공정에서 가장자리 관련 문제를 해결하는 솔루션을 제공하여 성장 공정의 품질과 효율성을 향상시킵니다. 우리는 고급 TAC 코팅 기술을 통해 3 세대 반도체 산업의 개발을 지원하고 수입 된 주요 자료에 대한 의존도를 줄이는 것을 목표로합니다.

PVT 방법 SIC 단결정 성장 공정 예비 부품 :

TAC 코팅 도가니, TAC 코팅을 갖는 종자 홀더, ​​TAC 코팅 가이드 링은 PVT 방법에 의한 SIC 및 AIN 단일 결정 용광로의 중요한 부품입니다.

● 고온 저항

●  고순도는 SIC 원료 및 SIC 단결정을 오염시키지 않습니다.

●  Al Steam 및 Natcorrosion에 저항성

●  결정 제조 사이클을 단축하기 위해 높은 공융 온도 (ALN 포함).

●  재활용 가능 (최대 200H)으로, 그러한 단결정의 제조의 지속 가능성과 효율성을 향상시킵니다.