SIC 단결정 성장 공정 예비 부품

결정 성장을위한 탄탈륨 탄화물 코팅 튜브는 주로 SIC 결정 성장 공정에 사용됩니다. Vetek 반도체는 수년 동안 결정 성장을 위해 탄탈 룸 탄화물 코팅 튜브를 공급해 왔으며 수년간 TAC 코팅 분야에서 일해 왔습니다. 우리의 제품은 순도가 높고 고온 저항이 있습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다. 자유롭게 문의하십시오.

TAC 코팅 가이드 링은 고품질 흑연 및 TAC 코팅으로 만들어집니다. PVT 방법에 의한 SIC 결정의 제조에서, Vetek 반도체의 TAC 코팅 가이드 링은 주로 공기 흐름을 안내하고 제어하고, 단결정 성장 공정을 최적화하며, 단결정 수율을 향상시키는 데 주로 사용됩니다. 우수한 TAC 코팅 기술을 통해 당사 제품은 우수한 고온 저항, 부식 저항 및 우수한 기계적 특성을 가지고 있습니다.

VeTek Semiconductor는 고객을 위해 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어를 신중하게 설계했습니다. 고순도 흑연과 TaC 코팅으로 구성되어 다양한 웨이퍼 에피택셜 웨이퍼 가공에 적합합니다. 우리는 수년간 SiC 및 TaC 코팅을 전문으로 해왔습니다. SiC 코팅과 비교하여 당사의 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 내열성과 내마모성이 더 높습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.