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탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 고온 저항, 내식성, 기계적 특성 및 열 관리 기능을 향상시켜 흑연 부품의 수명을 크게 연장할 수 있습니다. 고순도 특성으로 불순물 오염을 줄이고 결정 성장 품질을 향상시키며 에너지 효율을 향상시킵니다. 고온, 부식성이 높은 환경에서 반도체 제조 및 결정 성장 응용 분야에 적합합니다.

탄탈 카바이드 (TAC) 코팅은 반도체 필드에서 주로 에피 택시 성장 반응기 구성 요소, 단결정 성장 키 구성 요소, 고온 산업 구성 요소, MOCVD 시스템 히터 및 웨이퍼 캐리어에 널리 사용됩니다. 높은 온도 저항성 및 부식성은 장비 내구성, 수율 및 안정성을 향상시킬 수 있습니다.

SIC 에피 택셜 성장 공정 동안, SIC 코팅 된 흑연 현탁액 파괴가 발생할 수있다. 이 논문은 SIC 코팅 된 흑연 현탁액의 고장 현상에 대한 엄격한 분석을 수행하며, 여기에는 주로 SIC 에피 택셜 가스 파괴 및 SIC 코팅 고장이 포함 된 두 가지 요인이 포함되어있다.

이 기사에서는 주로 분자빔 에피택시 공정과 금속-유기 화학 기상 증착 기술의 각 공정 장점과 차이점을 논의합니다.

Vetek 반도체의 다공성 탄탈 룸 카바이드는 새로운 세대의 SIC 크리스탈 성장 재료로서 많은 우수한 제품 특성을 가지고 있으며 다양한 반도체 처리 기술에서 중요한 역할을합니다.

에피택시로의 작동 원리는 고온, 고압 하에서 기판에 반도체 재료를 증착하는 것입니다. 실리콘 에피택셜 성장은 특정 결정 방향을 가진 실리콘 단결정 기판 위에 기판과 동일한 결정 방향과 다른 두께를 가진 결정 층을 성장시키는 것입니다. 이 기사에서는 주로 실리콘 에피택셜 성장 방법인 기상 에피택시와 액상 에피택시를 소개합니다.