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안정적인 에피택시 결과를 위해 ASM용 SiC 코팅 흑연 서셉터가 필수적인 이유는 무엇입니까?

ASM용 SiC 코팅 흑연 서셉터는 에피택시 시스템 내부의 단순한 교체 부품이 아닙니다. 이는 열 균일성, 웨이퍼 청결도, 코팅 내구성, 챔버 안정성 및 장기 생산 비용에 영향을 미치는 공정에 중요한 캐리어입니다.

CVD TaC 코팅 커버는 단순한 보호 뚜껑이나 코팅된 흑연 구성 요소가 아닙니다. 고온 반도체 공정에서는 챔버 청결도, 열 안정성, 부품 수명 및 공정 일관성에 영향을 미칠 수 있습니다.

PECVD 생산에서 많은 코팅 및 증착 문제는 플라즈마 전력이나 가스 화학으로 시작되지 않습니다. 그들은 웨이퍼를 담는 캐리어부터 시작합니다.

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