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실리콘 카바이드(SiC)의 주요 성장 방법에는 PVT, TSSG 및 HTCVD가 포함되며 각각 뚜렷한 장점과 과제가 있습니다. 절연 시스템, 도가니, TaC 코팅 및 다공성 흑연과 같은 탄소 기반 열장 재료는 SiC의 정밀 제조 및 응용에 필수적인 안정성, 열 전도성 및 순도를 제공하여 결정 성장을 향상시킵니다.

SiC는 경도, 열전도율, 내식성이 높아 반도체 제조에 적합합니다. CVD SiC 코팅은 화학 기상 증착을 통해 생성되어 높은 열 전도성, 화학적 안정성 및 에피택셜 성장에 적합한 격자 상수를 제공합니다. 낮은 열 팽창과 높은 경도로 인해 내구성과 정밀도가 보장되므로 웨이퍼 캐리어, 예열 링 등과 같은 응용 분야에 필수적입니다. VeTek Semiconductor는 다양한 산업 요구에 맞는 맞춤형 SiC 코팅을 전문으로 합니다.

실리콘 카바이드 (SIC)는 고온 저항, 부식성 및 높은 기계적 강도와 같은 우수한 특성으로 알려진 고정밀 반도체 재료입니다. 그것은 200 개가 넘는 결정 구조를 가지고 있으며, 3c-sic은 유일한 입방 유형이며, 다른 유형에 비해 우수한 천연 구형 및 치밀화를 제공합니다. 3C Sic은 전자 이동성이 높은 것으로 두드러 지므로 전력 전자 장치의 MOSFET에 이상적입니다. 또한 나노 전자 공학, 파란색 LED 및 센서에서 큰 잠재력을 보여줍니다.