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팹 공장에는 어떤 측정 장비가 있습니까? - Vetek 반도체

팹 공장에는 여러 유형의 측정 장비가 있습니다. 일반적인 장비에는 리소그래피 공정 측정 장비, 에칭 공정 측정 장비, 박막 증착 공정 측정 장비, 도핑 공정 측정 장비, CMP 공정 측정 장비, 웨이퍼 입자 탐지 장비 및 기타 측정 장비가 포함됩니다.

TAC 코팅은 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 어떻게 개선합니까? - Vetek 반도체

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 고온 저항, 내식성, 기계적 특성 및 열 관리 기능을 향상시켜 흑연 부품의 수명을 크게 연장할 수 있습니다. 고순도 특성으로 불순물 오염을 줄이고 결정 성장 품질을 향상시키며 에너지 효율을 향상시킵니다. 고온, 부식성이 높은 환경에서 반도체 제조 및 결정 성장 응용 분야에 적합합니다.

반도체 필드에서 TAC 코팅 부품의 구체적인 응용은 무엇입니까?

탄탈 카바이드 (TAC) 코팅은 반도체 필드에서 주로 에피 택시 성장 반응기 구성 요소, 단결정 성장 키 구성 요소, 고온 산업 구성 요소, MOCVD 시스템 히터 및 웨이퍼 캐리어에 널리 사용됩니다. 높은 온도 저항성 및 부식성은 장비 내구성, 수율 및 안정성을 향상시킬 수 있습니다.