업계 뉴스

이 기사에서는 주로 분자빔 에피택시 공정과 금속-유기 화학 기상 증착 기술의 각 공정 장점과 차이점을 논의합니다.

Vetek 반도체의 다공성 탄탈 룸 카바이드는 새로운 세대의 SIC 크리스탈 성장 재료로서 많은 우수한 제품 특성을 가지고 있으며 다양한 반도체 처리 기술에서 중요한 역할을합니다.

에피택시로의 작동 원리는 고온, 고압 하에서 기판에 반도체 재료를 증착하는 것입니다. 실리콘 에피택셜 성장은 특정 결정 방향을 가진 실리콘 단결정 기판 위에 기판과 동일한 결정 방향과 다른 두께를 가진 결정 층을 성장시키는 것입니다. 이 기사에서는 주로 실리콘 에피택셜 성장 방법인 기상 에피택시와 액상 에피택시를 소개합니다.