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베텍세미콘, 2025 상하이 SEMICON 국제전시회에서 빛나며 혁신적인 기술로 반도체 산업의 미래 선도

반도체 제조 산업에서 장치 크기가 계속 줄어들면서 박막 재료의 증착 기술은 전례없는 과제를 제기했습니다. 원자 수준에서 정확한 제어를 달성 할 수있는 박막 증착 기술로서 원자 층 증착 (ALD)은 반도체 제조의 필수 부분이되었다. 이 기사는 ALD의 프로세스 흐름과 원칙을 소개하여 고급 칩 제조에서 중요한 역할을 이해하는 데 도움이됩니다.

완벽한 결정질베이스 층에 통합 회로 또는 반도체 장치를 구축하는 것이 이상적입니다. 반도체 제조의 에피 택시 (EPI) 공정은 단일 결정질 기판에 일반적으로 약 0.5 내지 20 미크론의 미세한 단일 결정 층을 퇴적하는 것을 목표로한다. 에피 택시 공정은 특히 실리콘 웨이퍼 제조에서 반도체 장치 제조에서 중요한 단계입니다.